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公开(公告)号:CN106017750A
公开(公告)日:2016-10-12
申请号:CN201610240558.6
申请日:2016-03-25
申请人: 森萨塔科技公司
IPC分类号: G01L1/18
CPC分类号: G01L1/18 , G01L9/0042 , G01L9/0054 , G01L19/0084 , G01R17/00
摘要: 本公开涉及半导体应变仪.公开了一种用于半导体应变仪压力传感器的方法和装置.装置包括被配置为暴露于压力环境的感测元件,感测元件包括至少一个高掺杂半导体应变仪,该高掺杂半导体应变仪包括5焊盘单惠斯通全电桥,装置还包括设置在载体上并且电耦接到感测元件的电子封装件,所述载体设置在包括感测元件的端口上,壳体围绕感测元件和电子封装件设置,以及装置包括连接器,该连接器连到壳体并且电连接到电子封装件。
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