发明公开
CN106017750A 半导体应变仪
无效 - 撤回
- 专利标题: 半导体应变仪
- 专利标题(英): Semiconductor strain gauge
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申请号: CN201610240558.6申请日: 2016-03-25
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公开(公告)号: CN106017750A公开(公告)日: 2016-10-12
- 发明人: 霍史红 , C·布斯奎特 , D·冈卡尔维斯
- 申请人: 森萨塔科技公司
- 申请人地址: 美国马萨诸塞
- 专利权人: 森萨塔科技公司
- 当前专利权人: 森萨塔科技公司
- 当前专利权人地址: 美国马萨诸塞
- 代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 金晓
- 优先权: 14/669,297 2015.03.26 US
- 主分类号: G01L1/18
- IPC分类号: G01L1/18
摘要:
本公开涉及半导体应变仪.公开了一种用于半导体应变仪压力传感器的方法和装置.装置包括被配置为暴露于压力环境的感测元件,感测元件包括至少一个高掺杂半导体应变仪,该高掺杂半导体应变仪包括5焊盘单惠斯通全电桥,装置还包括设置在载体上并且电耦接到感测元件的电子封装件,所述载体设置在包括感测元件的端口上,壳体围绕感测元件和电子封装件设置,以及装置包括连接器,该连接器连到壳体并且电连接到电子封装件。