公开(公告)号：CN115767907B

公开(公告)日：2025-02-28

申请号：CN202211469312.8

申请日：2022-11-22

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 黄兆岭 ,  赵国琳 ,  黄彩萍 ,  边宇宇 ,  龚雨兵 ,  张国旗 ,  杨道国

IPC: H05K3/00 ,  G01D21/02 ,  B82Y40/00 ,  B82Y30/00

Abstract: 本发明公开了一种柔性温度‑应力传感器的制备工艺，包括以下步骤：采用PDMS溶液通过旋涂法制备柔性衬底；制备MXene‑CNTs应力复合薄膜；制备PEDOT:PSS‑CNTs‑石墨烯热敏复合薄膜；制备SiC薄膜作为介电层；制备等效神经导电网络结构的电极层；将柔性衬底、电极层、应力复合薄膜、介电层、热敏复合薄膜、电极层、柔性衬底按从下到上的顺序进行垂直贴合，贴合时上电极层的引线按X轴方向摆放，下电极层的引线方向按Y轴摆放进行垂直贴合，制备柔性温度‑应力传感器。本发明制备的柔性传感器兼顾温度、应力多重检测能力，其中温度传感通过温差电动势大小反应，应力传感通过电阻大小反应，传感机制不同，便于温度、应力解耦，避免信号串扰，提高测量的准确度。

公开(公告)号：CN115767907A

公开(公告)日：2023-03-07

申请号：CN202211469312.8

申请日：2022-11-22

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 黄兆岭 ,  赵国琳 ,  黄彩萍 ,  边宇宇 ,  龚雨兵 ,  张国旗 ,  杨道国

IPC: H05K3/00 ,  G01D21/02 ,  B82Y40/00 ,  B82Y30/00

Abstract: 本发明公开了一种柔性温度‑应力传感器的制备工艺，包括以下步骤：采用PDMS溶液通过旋涂法制备柔性衬底；制备MXene‑CNTs应力复合薄膜；制备PEDOT:PSS‑CNTs‑石墨烯热敏复合薄膜；制备SiC薄膜作为介电层；制备等效神经导电网络结构的电极层；将柔性衬底、电极层、应力复合薄膜、介电层、热敏复合薄膜、电极层、柔性衬底按从下到上的顺序进行垂直贴合，贴合时上电极层的引线按X轴方向摆放，下电极层的引线方向按Y轴摆放进行垂直贴合，制备柔性温度‑应力传感器。本发明制备的柔性传感器兼顾温度、应力多重检测能力，其中温度传感通过温差电动势大小反应，应力传感通过电阻大小反应，传感机制不同，便于温度、应力解耦，避免信号串扰，提高测量的准确度。

公开(公告)号：CN218787839U

公开(公告)日：2023-04-04

申请号：CN202223103781.6

申请日：2022-11-22

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 黄兆岭 ,  黄彩萍 ,  边宇宇 ,  赵国琳 ,  龚雨兵 ,  张国旗 ,  杨道国

IPC: G01D21/02

Abstract: 本实用新型公开了一种双模柔性传感器，包括层压在一起的应力传感单元、温度传感单元和位于两层传感单元之间的介电层；所述应力传感单元位于温度传感单元下方，应力传感单元从底至上依次设置底层柔性衬底、下电极层和应力复合薄膜层；所述温度传感单元从上至下依次设置顶层柔性衬底、上电极层和热敏复合薄膜层；其中上电极层和下电极层分别连接引线，实现整个传感器的信号传递。本装置兼顾温度、应力多重检测能力，采用等效神经网络结构实现电极层的设计，加强信号间的传导速率，提高柔性传感器的敏感度，避免信号串扰，提高测量的准确度。