公开(公告)号：CN113280840A

公开(公告)日：2021-08-20

申请号：CN202110524565.X

申请日：2021-05-13

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 肖功利 ,  蓝群博 ,  杨宏艳 ,  曾丽珍 ,  欧泽涛 ,  徐燕萍 ,  陈剑云 ,  李海鸥 ,  张法碧 ,  傅涛 ,  孙堂友 ,  刘兴鹏

IPC: G01D5/28 ,  G01J3/447 ,  G01J3/02

Abstract: 本发明提供的是一种基于金纳米四棱锥结构偏振相关的等离子光热传感器。属于微纳光电子领域，传感器包括衬底和金属四棱锥，在衬底1上刻蚀有纳米金属四棱锥2阵列。通过改变传感器尺寸L1，可以达到对覆盖整个可见光谱的光的操纵。本发明可以实现对对覆盖整个可见光谱的光的调节，且具有偏振相关特性，可以提高微纳集成光学器件在集成光电路中的集成密度。