公开(公告)号：CN102216755A

公开(公告)日：2011-10-12

申请号：CN200980145331.1

申请日：2009-08-04

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 伊泽淳 ,  滨野靖德 ,  久保田伸彦

IPC: G01N21/27

CPC classification number: G01N21/3504 ,  G01N2021/1793 ,  G01N2021/3513 ,  G01N2021/392

Abstract: 一种气体成分浓度测定装置，不用射出激光强度高的激光射出装置或大型聚光装置也能取得足够大的光检测值，测定所期望区间的对象成分的浓度。具有：激光射出装置（3），射出波长为对象成分的光吸收波长的第一激光束及波长为对象成分的非吸收波长的第二激光束；第一及第二散射体（5、7），在第一激光束和第二激光束照射范围并在第一激光束和第二激光束的射出方向隔着间隔配置；光检测器（9），检测第一散射体（5）散射的第一、第二激光束的第一、第二散射光、第二散射体（7）散射的第一、第二激光束的第三、第四散射光；浓度计算装置（11），基于光检测器（9）的检测值计算第一散射体（5）和第二散射体（7）间的对象成分浓度。

公开(公告)号：CN102077322B

公开(公告)日：2012-10-10

申请号：CN200980125234.6

申请日：2009-06-17

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 河口纪仁 ,  川上隆介 ,  西田健一郎 ,  伊泽淳 ,  M.正木 ,  森田胜

IPC: H01L21/268 ,  H01L21/20

CPC classification number: H01L21/268 ,  B23K26/0853 ,  B23K26/127 ,  B23K26/128 ,  B23K26/147 ,  B23K26/702 ,  B23K2103/56 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02675 ,  H01L21/67115

Abstract: 提供一种激光退火装置，能够减少惰性气体的温度的波动引起的激光的折射现象导致的激光的照射不均。激光退火装置（1）具备：气体供给装置（10），至少对被处理体（7）中的激光照射区域供给惰性气体（G）；以及气体温度调整装置（15），调整惰性气体（G）的温度。气体温度调整装置（15）对被供给到激光照射区域的惰性气体（G）的温度进行调整，使得惰性气体（G）的温度与惰性气体供给区域的外侧的包围激光的光路的空间（房间R）的气氛温度的温度差变小。

公开(公告)号：CN102216756A

公开(公告)日：2011-10-12

申请号：CN200980145335.X

申请日：2009-08-03

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 伊泽淳 ,  滨野靖德 ,  久保田伸彦

IPC: G01N21/49

CPC classification number: G01N21/3504 ,  G01N2021/1793 ,  G01N2021/3513 ,  G01N2021/392

Abstract: 本发明即使不使用射出激光强度高的激光射出装置、大型聚光装置，也能够取得充分大的光检测值，测定所希望的区间中的对象成分的浓度。通过切换激光射出装置（3）的绕水平轴的朝向或高度，在第1和第2照射处所（5a，5b）之间切换地表或水面（5）的激光照射处所，以光检测器（9）检测在第1照射处所（5a）中散射的第1激光的第1散射光、在第1照射处所（5a）中散射的第2激光的第2散射光、在第2照射处所（5b）中散射的第1激光的第3散射光、和在第2照射处所（5b）中散射的第2激光的第4散射光，基于通过光检测器（9）取得的第1、第2、第3和第4散射光的检测值，以浓度计算装置（11）计算第1照射位置（5a）和第2照射位置（5b）之间的对象成分的浓度。

公开(公告)号：CN102216755B

公开(公告)日：2013-11-13

申请号：CN200980145331.1

申请日：2009-08-04

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 伊泽淳 ,  滨野靖德 ,  久保田伸彦

IPC: G01N21/27

CPC classification number: G01N21/3504 ,  G01N2021/1793 ,  G01N2021/3513 ,  G01N2021/392

Abstract: 一种气体成分浓度测定装置，不用射出激光强度高的激光射出装置或大型聚光装置也能取得足够大的光检测值，测定所期望区间的对象成分的浓度。具有：激光射出装置（3），射出波长为对象成分的光吸收波长的第一激光束及波长为对象成分的非吸收波长的第二激光束；第一及第二散射体（5、7），在第一激光束和第二激光束照射范围并在第一激光束和第二激光束的射出方向隔着间隔配置；光检测器（9），检测第一散射体（5）散射的第一、第二激光束的第一、第二散射光、第二散射体（7）散射的第一、第二激光束的第三、第四散射光；浓度计算装置（11），基于光检测器（9）的检测值计算第一散射体（5）和第二散射体（7）间的对象成分浓度。

公开(公告)号：CN102077322A

公开(公告)日：2011-05-25

申请号：CN200980125234.6

申请日：2009-06-17

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 河口纪仁 ,  川上隆介 ,  西田健一郎 ,  伊泽淳 ,  M正木 ,  森田胜

IPC: H01L21/268 ,  H01L21/20

CPC classification number: H01L21/268 ,  B23K26/0853 ,  B23K26/127 ,  B23K26/128 ,  B23K26/147 ,  B23K26/702 ,  B23K2103/56 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02675 ,  H01L21/67115

Abstract: 提供一种激光退火装置，能够减少惰性气体的温度的波动引起的激光的折射现象导致的激光的照射不均。激光退火装置（1）具备：气体供给装置（10），至少对被处理体（7）中的激光照射区域供给惰性气体（G）；以及气体温度调整装置（15），调整惰性气体（G）的温度。气体温度调整装置（15）对被供给到激光照射区域的惰性气体（G）的温度进行调整，使得惰性气体（G）的温度与惰性气体供给区域的外侧的包围激光的光路的空间（房间R）的气氛温度的温度差变小。