公开(公告)号：CN103562435B

公开(公告)日：2014-07-30

申请号：CN201280024650.9

申请日：2012-05-22

Applicant: 株式会社CREV

Inventor： 山下真希 ,  水河启美

IPC: G01J3/02 ,  C23C16/52 ,  C23C16/50 ,  G01J3/28 ,  G01N21/67 ,  H01L21/205 ,  H05H1/00

CPC classification number: G01N21/255 ,  G01J3/443 ,  G01J2003/4435 ,  G01N21/274 ,  G01N21/66 ,  G01N2201/127 ,  H05H1/0037

Abstract: 发光分析装置具备：作为第1光强度计算部的一例的等离子光强度计算部（120），通过将由分光计测器（200）计测的表示容器内的每个波长的光强度的分光光谱利用多项式近似，计算容器内的每个波长的光强度；作为第2光强度计算部的一例的分子光强度计算部（130），通过按每个波长从由上述分光计测器（200）计测的上述分光光谱所表示的光强度减去上述第1光强度计算部计算出的光强度，计算与分子或原子的亮线光谱对应的光强度；以及比计算部（140），使用第2光强度计算部计算出的光强度，计算第1分子的分子光谱或第1原子的原子光谱的峰值与第2分子的分子光谱或第2原子的原子光谱的峰值之比。

公开(公告)号：CN103562435A

公开(公告)日：2014-02-05

申请号：CN201280024650.9

申请日：2012-05-22

Applicant: 株式会社CREV

Inventor： 山下真希 ,  水河启美

IPC: C23C16/52 ,  C23C16/50 ,  G01J3/02 ,  G01J3/28 ,  G01N21/67 ,  H01L21/205 ,  H05H1/00

CPC classification number: G01N21/255 ,  G01J3/443 ,  G01J2003/4435 ,  G01N21/274 ,  G01N21/66 ,  G01N2201/127 ,  H05H1/0037

Abstract: 发光分析装置具备：作为第1光强度计算部的一例的等离子光强度计算部（120），通过将由分光计测器（200）计测的表示容器内的每个波长的光强度的分光光谱利用多项式近似，计算容器内的每个波长的光强度；作为第2光强度计算部的一例的分子光强度计算部（130），通过按每个波长从由上述分光计测器（200）计测的上述分光光谱所表示的光强度减去上述第1光强度计算部计算出的光强度，计算与分子或原子的亮线光谱对应的光强度；以及比计算部（140），使用第2光强度计算部计算出的光强度，计算第1分子的分子光谱或第1原子的原子光谱的峰值与第2分子的分子光谱或第2原子的原子光谱的峰值之比。