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发明公开
绝缘构造体、静电透镜及带电粒子线装置审中-公开

公开(公告)号：CN118486574A

公开(公告)日：2024-08-13

申请号：CN202410167293.6

申请日：2024-02-06

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 当间康 , 狩俣努 , 青田佐多司 , 藤泽新雪

IPC: H01J37/12 , H01J37/18 , H01J37/02

Abstract: 本发明提供一种抑制绝缘构造体中的放电的绝缘构造体、静电透镜以及带电粒子线装置，绝缘构造体在带电粒子线装置用的真空中使用，其具备阳极、与所述阳极相对的阴极以及配置于所述阳极与所述阴极之间的绝缘体，所述绝缘体具有：绝缘体平坦面；以及从所述绝缘体平坦面突出的绝缘体凸部，所述阴极具有：阴极平坦面；以及从所述阴极平坦面凹陷且与所述绝缘体凸部嵌合的阴极凹部，所述绝缘体平坦面与所述阴极平坦面不接触，所述绝缘体凸部的外表面与所述阴极凹部的内表面不接触。

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