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发明公开
工件研磨速率的响应性概况的制作方法、研磨方法及装置审中-公开

公开(公告)号：CN118106878A

公开(公告)日：2024-05-31

申请号：CN202311601303.4

申请日：2023-11-28

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 山木晓 , 八木圭太 , 中村显 , 白川滉大

IPC: B24B37/10 , B24B37/005 , B24B49/00 , B24B49/16 , B24B1/00

Abstract: 本发明提供工件研磨速率的响应性概况的制作方法、研磨方法以及研磨装置，能够准确地取得研磨速率相对于将晶片等工件向研磨垫按压的压力的变化的响应性。在本方法中，使用模拟来制作推定研磨速率响应性概况，该推定研磨速率响应性概况表示研磨速率相对于研磨头(7)的第一压力室内的压力变化的响应性的分布，使用工件的研磨结果来制作实际研磨速率响应性概况，该实际研磨速率响应性概况表示研磨速率相对于第二压力室内的压力变化的响应性的分布，通过将推定研磨速率响应性概况和实际研磨速率响应性概况组合，而制作混合研磨速率响应性概况。

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