公开(公告)号：CN118247076A

公开(公告)日：2024-06-25

申请号：CN202311760632.3

申请日：2023-12-20

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 加贺谷俊介

IPC: G06Q50/04 ,  G06Q10/063 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供半导体制造装置的生产率的计算方法、半导体制造装置以及计算机程序。高精度地求得半导体制造装置的生产率。提供一种方法，是具备多个单元的半导体制造装置的生产率的计算方法，包括：获取与上述半导体制造装置中的基板的处理相关的处理参数的步骤；从存储装置获取关于上述多个单元的各单元的维护信息的步骤，其中，上述维护信息包括关于上述多个单元的上述各单元的、在直至上述半导体制造装置中的上述基板的处理完成为止的期间所预定的维护的时机及其所需的时间的信息；以及基于上述处理参数及上述维护信息来计算上述半导体制造装置的生产率的步骤。

公开(公告)号：CN116240609A

公开(公告)日：2023-06-09

申请号：CN202211571161.7

申请日：2022-12-08

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 加贺谷俊介

IPC: C25D17/00 ,  B65G47/74 ,  B65G43/08 ,  H05K3/18 ,  H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  C25D21/12 ,  C25D7/00

Abstract: 本发明提供基板处理装置、基板处理装置的控制装置、基板处理装置的控制方法、储存程序的存储介质。本发明的课题在于，在基板处理装置中灵活且迅速地节约处理液。一种基板处理装置，其构成为在基板处理装置的生产率成为最大的通常模式与在至少一个处理槽中节约处理液的处理液节约模式之间切换输送时间表，基于对上述基板处理装置整体的处理速度进行限速的限速部分，判定是否是基板处理装置中的需要生产量较少的空闲期，在判定为基板处理装置处于空闲期时，将输送时间表设定为处理液节约模式，在判定为基板处理装置不处于空闲期时，将输送时间表设定为通常模式。