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公开(公告)号：CN113853275A
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN202080037700.1
申请日：2020-05-20
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 可使基板处理装置省人力、节能、及/或低成本化。具备：传感器，该传感器设置于基板处理装置，检测对象基板处理中的对象物理量；及预测部，该预测部将通过该传感器检测的物理量的时间序列数据或以时间对该物理量的时间序列数据进行微分而得到的时间序列数据输入完成学习的机器学习模型，从而输出作为结束研磨的时刻的研磨终点时刻，该机器学习模型是如下模型：使用将过去的该物理量的时间序列数据或以时间对该过去的物理量的时间序列数据进行微分而得到的时间序列数据作为输入、并将过去的研磨终点时刻作为输出的学习用的数据集进行机器学习。
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公开(公告)号：CN118056265A
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN202280067479.3
申请日：2022-07-13
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01L21/304 , G05B23/02 , G06N20/00 , H01L21/02
Abstract: 本发明关于信息处理装置、推理装置、机器学习装置、信息处理方法、推理方法及机器学习方法。信息处理装置(5)具备：信息获取部(500)，获取至少包含表示在由多个组件构成而进行基板的研磨处理的基板处理装置(2)中产生的警报的种类的警报种类信息和表示在警报产生时分别存在于多个组件的基板的配置状态的基板配置信息的警报产生信息；及支援处理部(501)，通过向通过机器学习学习了警报产生信息与用于应对警报的产生的支援信息的相关关系的学习模型输入根据警报的产生而由信息获取部(500)获取的警报产生信息，生成与该警报对应的支援信息。
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公开(公告)号：CN113853275B
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202080037700.1
申请日：2020-05-20
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 可使基板处理装置省人力、节能、及/或低成本化。具备：传感器，该传感器设置于基板处理装置，检测对象基板处理中的对象物理量；及预测部，该预测部将通过该传感器检测的物理量的时间序列数据或以时间对该物理量的时间序列数据进行微分而得到的时间序列数据输入完成学习的机器学习模型，从而输出作为结束研磨的时刻的研磨终点时刻，该机器学习模型是如下模型：使用将过去的该物理量的时间序列数据或以时间对该过去的物理量的时间序列数据进行微分而得到的时间序列数据作为输入、并将过去的研磨终点时刻作为输出的学习用的数据集进行机器学习。
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