公开(公告)号：CN1460398A

公开(公告)日：2003-12-03

申请号：CN02800882.0

申请日：2002-03-27

Applicant: 株式会社能洲

Inventor： 饭岛朝雄 ,  加藤芳朗 ,  大平洋 ,  大泽正行 ,  黑泽稻太郎 ,  佐久间和男 ,  浅野敏彦 ,  远藤仁誉

IPC: H05K3/46 ,  H05K1/11 ,  H05K3/40

CPC classification number: H05K3/4647 ,  B24B1/00 ,  B24B7/228 ,  B24B37/04 ,  H05K3/025 ,  H05K3/06 ,  H05K3/385 ,  H05K3/4038 ,  H05K3/4614 ,  H05K3/4652 ,  H05K2201/0355 ,  H05K2201/0361 ,  H05K2203/0143 ,  H05K2203/025 ,  H05K2203/0315 ,  H05K2203/0384 ,  H05K2203/0542 ,  H05K2203/061 ,  H05K2203/063 ,  H05K2203/1157

Abstract: 本发明提供一种多层布线基板的制造方法，系由凸块形成用金属层2/抗蚀层3/布线膜形成用金属层4构成的多层金属板1的布线膜形成用金属层4来形成布线膜4a，准备多个形成凸块形成用金属层2者，于一个凸块形成用金属层2a的形成面，以重叠其它的多层金属板的布线膜4a的状态顺序反复地进行重复的堆积步骤以达成多层化，同时，由具有如藉真空吸着保持金属板1a的主表面面向上的金属板保持机构13、保持刃26于金属板1a上方的刃保持机构25、调整该刃保持机构25的高度的刃保持机构25的高度调整机构20、及使刃保持机构25相对于金属板1a的表面平行移动的平行移动机构15的多层布线基板用研磨机11a进行研磨，而且，于上述堆积快开始前，使凸块2a及连接的金属层的维克斯(Vickers)硬度为80～150Hv，且对金属板1a的凸块2a上面及堆积于此的其它布线膜11表面的一方或两方进行黑化还原处理，再于其后，继黑化处理再进行还原处理，以更好地增加其电性连接性，而可提高稳定性。