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公开(公告)号：CN119948195A
公开(公告)日：2025-05-06
申请号：CN202380062087.2
申请日：2023-08-14
Applicant: 株式会社神户制钢所
Abstract: 离子轰击装置(1)具有真空腔室(2)、基材支撑部(11)、丝(3)、放电电源(22)、丝加热电源(3T)以及磁场产生机构(20)。丝(3)具有一端部(31)和另一端部(32)。磁场产生机构(20)包括：在包含丝(3)的一端部(31)的区域中产生第1磁场的第1磁场产生部(201)；以及在包含丝(3)的另一端部(32)的区域中产生第2磁场的第2磁场产生部(202)。由所述第1磁场及所述第2磁场增强丝(3)的端部附近的等离子体，从而能够降低等离子体密度的偏差、以及蚀刻量的偏差。
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公开(公告)号：CN112601838B
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN201980057931.6
申请日：2019-08-19
Applicant: 株式会社神户制钢所
IPC: C23C16/44
Abstract: 本发明提供能够一边稳定地矫正伴随热膨胀的丝的弯曲，一边进行对基材的包覆处理的热丝化学气相沉积装置。热丝化学气相沉积装置（1）具有腔室（2）、支撑多个基材（5）的基材支撑体（4）、多个丝（60）、第一框部（61）及第二框部（62）、电源（81）、驱动部（82）、驱动控制部（802）、运算部（803）以及温度信息获取部（807）。温度信息获取部（807）获取伴随施加电压而变化的多个丝（60）的温度信息。运算部（803）基于所获取的温度信息运算多个丝（60）的热膨胀量。驱动控制部（802）根据运算部（803）运算出的热膨胀量使第二框部（62）从第一框部（61）离开。
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公开(公告)号：CN112654731A
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN201980057869.0
申请日：2019-08-19
Applicant: 株式会社神户制钢所
IPC: C23C16/44 , C23C16/458
Abstract: 本发明提供一种能够将多个基材容易地配置在腔室内的热丝化学气相沉积装置。热丝化学气相沉积装置(1)具有腔室(2)、多个丝、分别支撑多个基材(5)的多个基材支撑体(4)以及载物台(31)。多个基材支撑体(4)能够通过开口部(2H)沿指定的插入方向插入于腔室(2)的内部，并以使多个基材(5)沿所述插入方向隔开间隔被配置的方式分别支撑多个基材(5)。载物台(31)具有以使多个基材(5)与多个丝相向被配置的方式容许多个基材支撑体(4)被载置的载置面，在腔室(2)的内部以使多个基材支撑体(4)在腔室宽度方向上邻接被配置的方式支撑多个基材支撑体(4)。
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公开(公告)号：CN117987784A
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202311473629.3
申请日：2023-11-07
Applicant: 株式会社神户制钢所
IPC: C23C14/32
Abstract: 本发明提供一种电弧蒸发源，其包括：包含靶材放电面的靶材；电弧电源；被配置在靶材的前方的位置的电磁线圈；以及被配置在靶材的后方的位置的中央磁铁。电磁线圈形成包含与靶材放电面交叉且以沿前后方向通过该电磁线圈的径向内侧的方式延伸的第一磁力线的第一磁场。中央磁铁形成包含在该中央磁铁与靶材放电面之间的区域沿前后方向延伸的第二磁力线的第二磁场。基于第一磁场和第二磁场的排斥作用，在靶材放电面上稳定地形成水平磁场和垂直磁场。据此，通过促进靶材放电面上的电弧斑点的移动，能够抑制飞向工件的宏粒子的发生。
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公开(公告)号：CN112601838A
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN201980057931.6
申请日：2019-08-19
Applicant: 株式会社神户制钢所
IPC: C23C16/44
Abstract: 本发明提供能够一边稳定地矫正伴随热膨胀的丝的弯曲，一边进行对基材的包覆处理的热丝化学气相沉积装置。热丝化学气相沉积装置（1）具有腔室（2）、支撑多个基材（5）的基材支撑体（4）、多个丝（60）、第一框部（61）及第二框部（62）、电源（81）、驱动部（82）、驱动控制部（802）、运算部（803）以及温度信息获取部（807）。温度信息获取部（807）获取伴随施加电压而变化的多个丝（60）的温度信息。运算部（803）基于所获取的温度信息运算多个丝（60）的热膨胀量。驱动控制部（802）根据运算部（803）运算出的热膨胀量使第二框部（62）从第一框部（61）离开。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112534081A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN201980054363.4
申请日：2019-08-19
Applicant: 株式会社神户制钢所
Abstract: 本发明提供一种能够容易进行丝的装拆、更换作业的热丝化学气相沉积装置。热丝化学气相沉积装置（1）包括腔室（2）、支撑多个基材（5）的基材支撑体（4）、丝部件（6A、6B、6C）以及一对保持部（71、72）。丝部件具有多个丝（60）、第一框部（61）、第二框部（62）以及一对连结构件（63）。此外，一对保持部（71、72）在将丝部件插入于腔室（2）时引导该丝部件，并且，在腔室（2）内以与多个基材（5）相向的方式保持该丝部件。
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公开(公告)号：CN114080470B
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202080050307.6
申请日：2020-07-15
Applicant: 株式会社神户制钢所
Abstract: 本发明中：观测状态变量，该状态变量包含关于成膜的性能评价的至少1个物理量、以及至少1个成膜条件；根据所述状态变量，计算对所述至少1个成膜条件的决定结果的回报；根据所述回报，更新用于根据所述状态变量决定所述至少1个成膜条件的函数；通过反复进行所述函数的更新，从而决定获得所述回报最多的成膜条件；其中，所述至少1个成膜条件是关于真空排气系统的第1参数、关于加热冷却系统的第2参数、关于蒸发源系统的第3参数、关于工作台系统的第4参数、以及关于工艺气体系统的第5参数中的至少1个，所述至少1个物理量是关于皮膜的膜质特性、机械特性、以及物理特性中的至少1个。
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公开(公告)号：CN112534081B
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN201980054363.4
申请日：2019-08-19
Applicant: 株式会社神户制钢所
Abstract: 本发明提供一种能够容易进行丝的装拆、更换作业的热丝化学气相沉积装置。热丝化学气相沉积装置（1）包括腔室（2）、支撑多个基材（5）的基材支撑体（4）、丝部件（6A、6B、6C）以及一对保持部（71、72）。丝部件具有多个丝（60）、第一框部（61）、第二框部（62）以及一对连结构件（63）。此外，一对保持部（71、72）在将丝部件插入于腔室（2）时引导该丝部件，并且，在腔室（2）内以与多个基材（5）相向的方式保持该丝部件。
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公开(公告)号：CN118922578A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202380027757.7
申请日：2023-03-08
Applicant: 株式会社神户制钢所 , 株式会社莫尓蒂诺刀具
IPC: C23C14/06
Abstract: 本发明的被覆构件包括：基材；以及硬质覆膜，形成于基材的表面，并且含有金属元素的氮化物或碳氮化物，其中，在硬质覆膜含有的金属元素和半金属元素的总量中，Al含量为65原子％以上且85原子％，Cr含量为15原子％以上且35原子％以下，并且，Al和Cr的合计含量为90原子％以上且100原子％以下，在根据透射电子显微镜的选区衍射图案求出的强度分布中，在基材附近和在表面附近显示最大峰强度的晶面不相同，在基材附近，与面心立方晶格结构的(111)面或(200)面对应的峰显示最大强度，在表面附近，与面心立方晶格结构的(220)面对应的峰强度为在与面心立方晶格结构的(200)面对应的峰强度和与(111)面对应的峰强度中的较大者的0.6倍以上。
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公开(公告)号：CN114080470A
公开(公告)日：2022-02-22
申请号：CN202080050307.6
申请日：2020-07-15
Applicant: 株式会社神户制钢所
Abstract: 本发明中：观测状态变量，该状态变量包含关于成膜的性能评价的至少1个物理量、以及至少1个成膜条件；根据所述状态变量，计算对所述至少1个成膜条件的决定结果的回报；根据所述回报，更新用于根据所述状态变量决定所述至少1个成膜条件的函数；通过反复进行所述函数的更新，从而决定获得所述回报最多的成膜条件；其中，所述至少1个成膜条件是关于真空排气系统的第1参数、关于加热冷却系统的第2参数、关于蒸发源系统的第3参数、关于工作台系统的第4参数、以及关于工艺气体系统的第5参数中的至少1个，所述至少1个物理量是关于皮膜的膜质特性、机械特性、以及物理特性中的至少1个。
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