公开(公告)号：CN114080470B

公开(公告)日：2024-05-07

申请号：CN202080050307.6

申请日：2020-07-15

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 国末晃伸 ,  高桥哲也 ,  中岛洋介

IPC: C23C14/32 ,  C23C14/54

Abstract: 本发明中：观测状态变量，该状态变量包含关于成膜的性能评价的至少1个物理量、以及至少1个成膜条件；根据所述状态变量，计算对所述至少1个成膜条件的决定结果的回报；根据所述回报，更新用于根据所述状态变量决定所述至少1个成膜条件的函数；通过反复进行所述函数的更新，从而决定获得所述回报最多的成膜条件；其中，所述至少1个成膜条件是关于真空排气系统的第1参数、关于加热冷却系统的第2参数、关于蒸发源系统的第3参数、关于工作台系统的第4参数、以及关于工艺气体系统的第5参数中的至少1个，所述至少1个物理量是关于皮膜的膜质特性、机械特性、以及物理特性中的至少1个。

公开(公告)号：CN114080470A

公开(公告)日：2022-02-22

申请号：CN202080050307.6

申请日：2020-07-15

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 国末晃伸 ,  高桥哲也 ,  中岛洋介

IPC: C23C14/32 ,  C23C14/54

Abstract: 本发明中：观测状态变量，该状态变量包含关于成膜的性能评价的至少1个物理量、以及至少1个成膜条件；根据所述状态变量，计算对所述至少1个成膜条件的决定结果的回报；根据所述回报，更新用于根据所述状态变量决定所述至少1个成膜条件的函数；通过反复进行所述函数的更新，从而决定获得所述回报最多的成膜条件；其中，所述至少1个成膜条件是关于真空排气系统的第1参数、关于加热冷却系统的第2参数、关于蒸发源系统的第3参数、关于工作台系统的第4参数、以及关于工艺气体系统的第5参数中的至少1个，所述至少1个物理量是关于皮膜的膜质特性、机械特性、以及物理特性中的至少1个。