多晶陶瓷体的制备方法
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100398476C

    公开(公告)日:2008-07-02

    申请号:CN200510118615.5

    申请日:2005-10-31

    IPC分类号: C03C10/00 C03B32/02 H01L41/00

    CPC分类号: Y02P40/57

    摘要: 为提供一种具有优异密度的多晶陶瓷体的制备方法而实施了制备步骤、混合步骤、成形步骤和热处理步骤。在制备步骤中制备粗颗粒陶瓷粉末和平均粒径为所述粗颗粒陶瓷粉末平均粒径的1/3或更小的细颗粒粉末。在混合步骤中,粗颗粒陶瓷粉末与细颗粒粉末进行混合,产生原料混合物。在成形步骤中,使原料混合物形成为一种成形体。在热处理步骤中,对成形体进行加热,从而烧结生成多晶陶瓷体。在热处理步骤中实施升温过程和第一保持过程,同时实施第二保持过程和/或冷却过程。在升温过程中,从加热开始升温,在第一保持过程中将成形体保持在温度T1℃。在第二保持过程中,将成形体保持在低于温度T1℃的温度T2℃。在冷却过程中,从温度T1℃开始对成形体以60℃/h或更低的降温速率进行冷却。