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发明公开
压电元件、压电装置及压电元件的制造方法审中-实审

公开(公告)号：CN116507896A

公开(公告)日：2023-07-28

申请号：CN202180069780.3

申请日：2021-10-29

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 城森知也 , 阿部竜一郎 , 小林太辅 , 樋口贵史 , 早川裕 , 酒井峰一 , 马渡和明 , 小山友二 , 田中昌明

IPC: G01L9/00

Abstract: 多个振动区域(22)为，振动区域(22)彼此之间通过狭缝(41)分离，狭缝(41)以构成使宽度从振动区域(22)中的与支承体(10)侧相反的一侧的一面(22a)侧向与该一面(22a)相反的一侧的另一面(22b)侧而变窄的锥部(42)的状态形成。电极膜(60)在对一面(22a)而言的法线方向上配置于比狭缝(41)靠内侧的位置，振动区域(22)中的构成锥部(42)的侧面(22c)和与一面(22a)平行的面(22b、Sv)所成的角度(θ1)为39°～81°。

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