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发明公开
运输装置及具有该运输装置的一列式真空处理装置审中-实审

公开(公告)号：CN117800088A

公开(公告)日：2024-04-02

申请号：CN202310907147.8

申请日：2023-07-24

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 深尾万里 , 泽森朗 , 久保隼 , 远藤茂

IPC: B65G49/06 , H01L21/677 , H01L21/67 , H10K59/12 , H10K71/16 , B65G43/00

Abstract: 本发明提供一种运转成本的削减效果高的运输装置，其用于在真空室内在一个方向上运输能够使被处理基板以其处理面开放的状态设置的运输托盘。运输装置(TM)具备一对运输单元(Tm1、Tm2)，各运输单元具有：运输带(23a、23b)，其卷绕在沿运输托盘的运输方向留出间隔设置的两个旋转部件(21a、21b、22a、22b)之间并环绕行进；以及多个支撑辊(24)，其支撑载置有运输托盘的运输带的部分。运输带构成为，在使各运输带同步环绕行进，重复进行跨置于这些运输带载置的运输托盘向X轴方向的运输时，比运输托盘优先变形。

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