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公开(公告)号：CN117915250A
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202311353514.0
申请日：2023-10-18
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H04R17/00
Abstract: 提供了一种用于对射频信号进行滤波的装置。该装置包括基板和耦接到基板的振膜，振膜包括压电材料。该装置还包括耦接到振膜的叉指换能器(IDT)并且包括多个交错指状物。该装置还包括盖子，其中振膜布置在基板和盖子之间，其中，在振膜的第一主表面和盖子之间具有第一空腔，第一空腔具有第一高度，并且在振膜的与第一主表面相对的第二主表面和基板之间具有第二空腔，第二空腔具有第二高度。此外，振膜的第一主表面和盖子之间的第一高度大于多个交错指状物中的至少一对交错指状物的间距，并且至多是第二高度的四倍。
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