公开(公告)号：CN112313507B

公开(公告)日：2024-08-06

申请号：CN201980041377.2

申请日：2019-07-03

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 白木宏

IPC: G01N27/22 ,  G01K7/16 ,  G01N27/12 ,  G01N27/04

Abstract: 复合传感器(1－1)是将包含感温部件的温度传感器部(56)和包含感湿部件的湿度传感器部(51)一体化而成的复合传感器。复合传感器(1－1)具备温度传感器部(56)和湿度传感器部(51)共用的第1端子(53)，配置成能够在与第1端子(53)之间测定感温部件的电特性的第2端子(57)，以及配置成能够在与第1端子(53)之间测定感湿部件的电特性的第3端子(52)。通过采用这样的构成，可提供能够同时测量温度和湿度且精度得到了改善的复合传感器。

公开(公告)号：CN117836466A

公开(公告)日：2024-04-05

申请号：CN202280053839.4

申请日：2022-11-02

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 白木宏 ,  菅大介 ,  岛川祐一

IPC: C23C16/448 ,  H01L21/31 ,  H01L21/368

Abstract: 本发明是一种雾化CVD成膜装置(1)，具备成膜室(10)和加热器(20)：成膜室(10)具备：使包含成膜原料的雾和载气的成膜雾(6)流入的开口即雾流入口(12)、载置成膜对象物(30)的工作台(11)以及使成膜雾(6)流出的开口即雾流出口(13)；加热器(20)加热工作台(11)；将在工作台(11)上方以与成膜雾(6)的流通方向正交的截面进行切断而得的切断面中的成膜室(10)内的空间的截面积即成膜室内截面积(S1)、与以与成膜雾(6)的流通方向正交的截面切断雾流出口(13)而得的切断面中的雾流出口(13)的空间的截面积即流出口截面积(S2)进行比较时，流出口截面积(S2)比成膜室内截面积(S1)小。

公开(公告)号：CN117940766A

公开(公告)日：2024-04-26

申请号：CN202380013605.1

申请日：2023-03-10

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 白木宏 ,  锦织佑树

IPC: G01N27/22 ,  A61B5/08 ,  A61B5/11 ,  A61B5/113 ,  G01N27/04 ,  G01N27/12

Abstract: 本发明可以使用湿度传感器用的多孔感湿构件而提供显示良好的灵敏度和响应性的湿度传感器所使用的新型感湿构件以及使用该新型感湿构件的湿度传感器和呼吸检知系统，上述湿度传感器用的多孔感湿构件包含树脂母材和无机填料，上述多孔感湿构件包含表面孔和内部孔，表面孔的平均孔径为0.1μm以上。

公开(公告)号：CN115667901A

公开(公告)日：2023-01-31

申请号：CN202180035189.6

申请日：2021-05-26

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 白木宏

IPC: G01N27/22

Abstract: 本发明提供一种吸湿传感器、RFID标签以及吸湿量测定系统。吸湿传感器(13)具备：吸湿性材料(50)，在吸湿前后保持形状，在吸湿后将吸湿状态保持规定时间以上；以及电极(51、52)，配置于上述吸湿性材料(50)，由上述电极(51、52)以及上述吸湿性材料(50)形成的电路的电特性根据上述吸湿性材料(50)的吸湿量而变化。

公开(公告)号：CN105452853A

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：CN201480044709.X

申请日：2014-08-06

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 藤本克己 ,  白木宏 ,  山本启辅

IPC: G01N27/02 ,  G01N27/22

CPC classification number: G01N27/223 ,  G01K7/16 ,  G01K7/203

Abstract: 本发明的温湿度传感器(1)具备：基板(2)；设置在基板(2)的第1电极(4)；至少一部分沿着第1电极(4)而设的线状的第2电极(6)；和设置在第2电极(6)中的沿着第1电极(4)的部分与第1电极(4)间的湿敏膜(8)。第2电极(6)为了形成电感器而具有俯视观察下为螺旋状的形状的部分。由此能构成高精度的振荡电路，能提供小型、制造容易的温度/湿度传感器。

公开(公告)号：CN112313507A

公开(公告)日：2021-02-02

申请号：CN201980041377.2

申请日：2019-07-03

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 白木宏

IPC: G01N27/22 ,  G01K7/16 ,  G01N27/12 ,  G01N27/04

Abstract: 复合传感器(1－1)是将包含感温部件的温度传感器部(56)和包含感湿部件的湿度传感器部(51)一体化而成的复合传感器。复合传感器(1－1)具备温度传感器部(56)和湿度传感器部(51)共用的第1端子(53)，配置成能够在与第1端子(53)之间测定感温部件的电特性的第2端子(57)，以及配置成能够在与第1端子(53)之间测定感湿部件的电特性的第3端子(52)。通过采用这样的构成，可提供能够同时测量温度和湿度且精度得到了改善的复合传感器。

公开(公告)号：CN119325634A

公开(公告)日：2025-01-17

申请号：CN202380015603.6

申请日：2023-12-13

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 中野充 ,  白木宏

IPC: H01G4/224 ,  B28B1/30 ,  C23C16/40 ,  C23C18/12

Abstract: 本发明涉及电子部件以及成膜方法。电子部件具备基体(20)和覆盖基体(20)的外表面(21)的氧化铝膜(50)。氧化铝膜(50)具有与基体(20)的外表面(21)接触的氧化铝制的膜状部(51)、和位于膜状部(51)的外表面侧的粒子层(52)。粒子层(52)包含与膜状部(51)的外表面接合的氧化铝制的多个粒子(53)。包含膜状部(51)及粒子层(52)的氧化铝膜(50)的厚度的平均值为0.05μm以上，2.0μm以下。粒子(53)彼此的间隔(P)为1.3μm以下。

公开(公告)号：CN105452853B

公开(公告)日：2018-01-30

申请号：CN201480044709.X

申请日：2014-08-06

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 藤本克己 ,  白木宏 ,  山本启辅

IPC: G01N27/02 ,  G01N27/22

CPC classification number: G01N27/223 ,  G01K7/16 ,  G01K7/203

Abstract: 本发明的温湿度传感器(1)具备：基板(2)；设置在基板(2)的第1电极(4)；至少一部分沿着第1电极(4)而设的线状的第2电极(6)；和设置在第2电极(6)中的沿着第1电极(4)的部分与第1电极(4)间的湿敏膜(8)。第2电极(6)为了形成电感器而具有俯视观察下为螺旋状的形状的部分。由此能构成高精度的振荡电路，能提供小型、制造容易的温度/湿度传感器。