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公开(公告)号:CN105556295A
公开(公告)日:2016-05-04
申请号:CN201480047508.5
申请日:2014-06-12
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor: 中村和敬
CPC classification number: G01N27/4071 , B32B18/00 , C04B35/01 , C04B35/453 , C04B35/62675 , C04B2235/3217 , C04B2235/3224 , C04B2235/3227 , C04B2235/3244 , C04B2235/3263 , C04B2235/3279 , C04B2235/3284 , C04B2235/5445 , C04B2235/6025 , C04B2237/34 , C04B2237/346 , C04B2237/68 , C04B2237/704 , C23C14/08 , G01N27/12 , G01N33/18 , G01N2033/0095
Abstract: 作为气体传感器的湿度传感器具备:由以NiO和ZnO的固溶体为主成分的烧结体形成的p型半导体层(1);和以ZnO及TiO2之中的至少任一方为主成分且形成在p型半导体层(1)的表面的n型半导体层(2),p型半导体层(1)中Ni与Zn的摩尔比率Ni/Zn为6/4以上且8/2以下。n型半导体层(2)通过溅射处理制作,或烧成在要成为p型半导体层(1)的未加工层叠体上层叠要成为n型半导体层(2)的生片而成的层叠结构体来制作。将p型半导体层作为正极侧,将n型半导体层作为负极侧,脉冲状地间歇施加电压,基于在所述电压施加时测量的电流值来检测湿度。由此实现特性、高温稳定性良好且耐久性卓越的具有高可靠性的高精度的pn结型的气体传感器和其制造方法及气体浓度的检测方法。
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公开(公告)号:CN114365249B
公开(公告)日:2024-06-25
申请号:CN202080059825.4
申请日:2020-06-19
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明的电容器(20)设置于表面具有导电图案(11)的层叠基板(10)的内部,上述电容器(20)具备:包含第一导电性金属部件(3a)和存在于上述第一导电性金属部件(3a)表面的多孔部(3b)的阳极部(3)、阴极部(7)、以及存在于上述阳极部(3)与上述阴极部(7)之间的电介质层,上述阳极部(3)通过连接电极(30)而导出到上述层叠基板(10)的表面侧,上述连接电极(30)具有包含构成上述第一导电性金属部件(3a)的金属的合金层(31)和设置于上述合金层(31)上的导电层(32),上述连接电极(30)与形成于上述层叠基板(10)表面的上述导电图案(11)连接。
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公开(公告)号:CN114365249A
公开(公告)日:2022-04-15
申请号:CN202080059825.4
申请日:2020-06-19
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明的电容器(20)设置于表面具有导电图案(11)的层叠基板(10)的内部,上述电容器(20)具备:包含第一导电性金属部件(3a)和存在于上述第一导电性金属部件(3a)表面的多孔部(3b)的阳极部(3)、阴极部(7)、以及存在于上述阳极部(3)与上述阴极部(7)之间的电介质层,上述阳极部(3)通过连接电极(30)而导出到上述层叠基板(10)的表面侧,上述连接电极(30)具有包含构成上述第一导电性金属部件(3a)的金属的合金层(31)和设置于上述合金层(31)上的导电层(32),上述连接电极(30)与形成于上述层叠基板(10)表面的上述导电图案(11)连接。
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