公开(公告)号：CN118974880A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202380013035.6

申请日：2023-03-13

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 荒卷彻 ,  张溪岑 ,  柏木由贵 ,  高野穣之 ,  柿沼武史 ,  冈山祐孝 ,  齐藤刚

IPC: H01L21/02

Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够应对从包括半导体制造装置的装置群等安全风险高的装置输出的数据，能够处理大容量的数据的技术。本发明的半导体装置制造系统之一在于，在具备经由网络与半导体制造装置连接的平台的半导体装置制造系统中，还具备：数据库服务器，将分配给各个所述半导体制造装置的装置ID和从各个所述半导体制造装置输出的数据的扩展名作为装置主机保存；变换连接装置，基于网络的认证信息或者所述平台的认证信息访问所述装置主机，由此取得所述数据；以及路径设定装置，将来自所述半导体制造装置的自发的数据的输出阻断。

公开(公告)号：CN119096530A

公开(公告)日：2024-12-06

申请号：CN202380013063.8

申请日：2023-04-05

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 荒卷彻 ,  齐藤刚 ,  张溪岑 ,  木岛美保子 ,  柿沼武史

IPC: H04L67/2871 ,  H04L12/22 ,  H04L12/66 ,  H04L67/06

Abstract: 本发明的目的在于提供如下技术：从自据点访问其他据点而取得数据，仅取得必要的数据，取得包括自据点以外的半导体制造装置的装置群的可公开的数据。本发明的据点协作系统从配置第一计算机和第二计算机的第一据点访问与第一据点不同的第二据点而取得第二据点的公开的数据，到公开的数据为止的到达路径由第一计算机设定，对到达路径上的设备许可对公开的数据的通信，公开的数据被第二计算机访问，第一据点内的服务器具有保存公开的数据的区域，通过第二计算机，将公开的数据复制到区域，或者参照公开的数据，第一据点以外的据点与区域的通信被第一计算机禁止。