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公开(公告)号：CN1428915A
公开(公告)日：2003-07-09
申请号：CN02152885.3
申请日：2002-11-26
Abstract: 一种转子，它具有顺着轴的圆周周边方向而分成扇形段的磁体，其中，该磁体的正在磁化方向或已磁化方向是持续变化的，且非磁性材料或铁磁体材料被插入该扇形段磁体之间的周边间隙中。还有，一种制造转子的方法，包括如下步骤：把线圈布置得使每个该线圈的纵向方向沿着轴的轴线，并磁化该扇形段磁体。另外还有，转动机械采用该转子。
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公开(公告)号：CN1485862A
公开(公告)日：2004-03-31
申请号：CN03107412.X
申请日：2003-03-20
Abstract: 本发明提供一种环形磁铁、环形磁铁的制造方法、及使用环形磁铁的转子和电动机。本发明的环形磁铁在易磁化方向沿周向或径向周期性变化的环形硬质磁性材料内沿周向按一定间隔一体形成多个软磁性材料。另外，本发明的环形磁铁制造方法的特征在于：包括在以环形配置的硬质磁性材料粉末中的周向按一定间隔配置多个软磁性材料的复合体的形成工序、使上述复合体在磁场中取向并在该状态下形成加压成形体的加压成形工序、及使上述加压成形体进行烧结的烧结工序。这样，可在环形磁铁的周向产生磁阻的差，同时满足利用磁阻的差的磁阻转矩和极各向异性磁铁的低齿槽效应转矩。
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公开(公告)号：CN103562433B
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201280025831.3
申请日：2012-05-28
Applicant: 日立金属株式会社
Inventor： 栗山义彦
IPC: C23C14/35
CPC classification number: H01J37/3405 , H01J37/3266 , H01J37/32669 , H01J37/3408 , H01J37/345
Abstract: 本发明提供一种具有直线部及拐角部的跑道形状的磁控溅射用磁场产生装置，其具备：中央磁极构件；包围中央磁极构件的外周磁极构件；以磁极沿一方向定向的方式设置在中央磁极构件与外周磁极构件之间的多个永久磁铁；对上述构件进行支承的非磁性基体构件，其中，至少在直线部配置的永久磁铁以中央磁极构件侧变低的方式倾斜，至少在直线部配置的永久磁铁的外侧的磁极面下部与外周磁极构件不抵接，且中央磁极构件与靶的距离和外周磁极构件与靶的距离相等，由此使靶表面产生均匀的磁场。
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公开(公告)号：CN104093878A
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201380006940.5
申请日：2013-01-23
Applicant: 日立金属株式会社
Inventor： 栗山义彦
IPC: C23C14/35
Abstract: 一种磁控溅射用磁场产生装置，具有由直线部及拐角部构成的跑道形状，在由非磁性体构成的基体上具有：棒状的中央磁极构件；以包围所述中央磁极构件的方式设置的外周磁极构件；在所述中央磁极构件与所述外周磁极构件之间，以一方的磁极与所述中央磁极构件对置而另一方的磁极与所述外周磁极构件对置的方式设置的多个永久磁铁，设于所述直线部的多个永久磁铁包含与所述靶表面垂直的方向的厚度在磁化方向的中央部比两端部薄的至少一个磁场调节用永久磁铁。
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公开(公告)号：CN103328683B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201280006183.7
申请日：2012-01-12
Applicant: 日立金属株式会社
CPC classification number: C23C14/351 , C23C14/35 , H01J37/3405 , H01J37/3408 , H01J37/345 , H01J37/3452 , H01J37/3461
Abstract: 用于磁控管溅射的跑道形磁场发生装置包括直线部分和角落部分，直线部分包括磁性基座、设置在其表面上的中央永磁体、和设置在它两侧并带有间隔的侧面永磁体；中央永磁体和侧面永磁体被垂直地磁化以具有相反的极性；角落部分包括非磁性基座、设置在其表面上的中央磁极元件、半圆形或半多边形形式的外围磁极元件、和布置在两磁极元件之间的、磁化方向与目标表面平行的多个永磁体；并且与中央磁极元件相对的所述多个永磁体的磁极具有与中央永磁体的与所述目标相对的磁极相同的极性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103328683A
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN201280006183.7
申请日：2012-01-12
Applicant: 日立金属株式会社
CPC classification number: C23C14/351 , C23C14/35 , H01J37/3405 , H01J37/3408 , H01J37/345 , H01J37/3452 , H01J37/3461
Abstract: 用于磁控管溅射的跑道形磁场发生装置包括直线部分和角落部分，直线部分包括磁性基座、设置在其表面上的中央永磁体、和设置在它两侧并带有间隔的侧面永磁体；中央永磁体和侧面永磁体被垂直地磁化以具有相反的极性；角落部分包括非磁性基座、设置在其表面上的中央磁极元件、半圆形或半多边形形式的外围磁极元件、和布置在两磁极元件之间的、磁化方向与目标表面平行的多个永磁体；并且与中央磁极元件相对的所述多个永磁体的磁极具有与中央永磁体的与所述目标相对的磁极相同的极性。
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公开(公告)号：CN104093878B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201380006940.5
申请日：2013-01-23
Applicant: 日立金属株式会社
Inventor： 栗山义彦
IPC: C23C14/35
Abstract: 一种磁控溅射用磁场产生装置，具有由直线部及拐角部构成的跑道形状，在由非磁性体构成的基体上具有：棒状的中央磁极构件；以包围所述中央磁极构件的方式设置的外周磁极构件；在所述中央磁极构件与所述外周磁极构件之间，以一方的磁极与所述中央磁极构件对置而另一方的磁极与所述外周磁极构件对置的方式设置的多个永久磁铁，设于所述直线部的多个永久磁铁包含与所述靶表面垂直的方向的厚度在磁化方向的中央部比两端部薄的至少一个磁场调节用永久磁铁。
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公开(公告)号：CN101107381A
公开(公告)日：2008-01-16
申请号：CN200680002673.4
申请日：2006-02-01
Applicant: 日立金属株式会社 , 新王磁材机工株式会社
IPC: C23C14/35
CPC classification number: C23C14/35 , H01J37/3408 , H01J37/3452
Abstract: 一种磁控管溅射用磁回路装置，具备：内侧永久磁铁列(3)，其由以上表面具有规定极性的磁极的方式连设的多个永久磁铁(30)构成；外侧永久磁铁列(4)，其包围内侧永久磁铁列(3)，并由以上表面具有与内侧永久磁铁列(3)的磁极反极性的磁极的方式连设的多个永久磁铁(40)构成；磁轭板(2)，其装拆自如地保持内侧永久磁铁列(3)及外侧永久磁铁列(4)的永久磁铁(30、40)；和至少逐个覆盖永久磁铁(30、40)的大致截面コ字状的非磁性保护罩构件(31、41)，各保护罩构件(31、41)由覆盖永久磁铁(30、40)的一侧面并且机械固定在磁轭板(2)上的第一侧板部(31a、41a)、覆盖永久磁铁(30、40)的另一侧面的第二侧板部(31b、41b)、一体地连结两侧板部(31a)及(31b)、(41a)及(41b)的上板部(31c、41c)构成，由各保护罩构件(31、41)的两侧板部(31a)及(31b)、(41a)及(41b)牢固地把持永久磁铁(30、40)。
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公开(公告)号：CN104919082B
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201480004542.4
申请日：2014-01-23
Applicant: 日立金属株式会社
Inventor： 栗山义彦
IPC: C23C14/35
Abstract: 一种磁控管溅射用磁场生成装置，具有由直线部以及拐角部构成的跑道形状，在非磁性体的基底上具有：(a)直线状的中央磁极部件；(b)外周磁极部件，其设置为将所述中央磁极部件包围；(c)多个垂直永久磁铁，配置在所述中央磁极部件与所述外周磁极部件之间，并在与靶面垂直的方向上被磁化；和(d)多个第一以及第二水平永久磁铁，配置在垂直永久磁铁的两侧，并在与靶面平行的方向上被磁化，所述第一以及第二水平永久磁铁的与所述垂直永久磁铁对置的一侧的极、和所述垂直永久磁铁的与靶材表面对置的一侧的极相同。
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公开(公告)号：CN104919082A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201480004542.4
申请日：2014-01-23
Applicant: 日立金属株式会社
Inventor： 栗山义彦
IPC: C23C14/35
Abstract: 一种磁控管溅射用磁场生成装置，具有由直线部以及拐角部构成的跑道形状，在非磁性体的基底上具有：(a)直线状的中央磁极部件；(b)外周磁极部件，其设置为将所述中央磁极部件包围；(c)多个垂直永久磁铁，配置在所述中央磁极部件与所述外周磁极部件之间，并在与靶面垂直的方向上被磁化；和(d)多个第一以及第二水平永久磁铁，配置在垂直永久磁铁的两侧，并在与靶面平行的方向上被磁化，所述第一以及第二水平永久磁铁的与所述垂直永久磁铁对置的一侧的极、和所述垂直永久磁铁的与靶材表面对置的一侧的极相同。
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