公开(公告)号：CN107710787B

公开(公告)日：2019-12-06

申请号：CN201680038034.7

申请日：2016-05-16

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 町田俊太郎 ,  峰利之 ,  藤崎耕司 ,  竹崎泰一 ,  龙崎大介

IPC: H04R19/00 ,  A61B8/00 ,  G01N29/06 ,  G01N29/24 ,  H04R1/40

Abstract: 在静电电容检测型的超声波换能器中，由于超声波换能器的单元阵列的各单元的膜状物的膜厚偏差，导致单元阵列内的单元的器件特性变得不均匀。超声波换能器具备CMUT芯片(301)，CMUT芯片(301)包括：形成有多个单元的单元阵列区域CAR；以及与单元阵列区域CAR相邻接的周边区域PER，在单元阵列区域CAR配置梁结构体(201)，并且在周边区域PER配置相当于梁结构体(201)的多个图案结构体(311)。由此，将单元阵列区域CAR的单位表面积和周边区域PER的单位表面积的差减小。其结果，能够提高覆盖梁结构体(201)和图案结构体(311)的绝缘膜的膜厚的均匀性。

公开(公告)号：CN107710787A

公开(公告)日：2018-02-16

申请号：CN201680038034.7

申请日：2016-05-16

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 町田俊太郎 ,  峰利之 ,  藤崎耕司 ,  竹崎泰一 ,  龙崎大介

IPC: H04R19/00 ,  A61B8/00 ,  G01N29/06 ,  G01N29/24 ,  H04R1/40

Abstract: 在静电电容检测型的超声波换能器中，由于超声波换能器的单元阵列的各单元的膜状物的膜厚偏差，导致单元阵列内的单元的器件特性变得不均匀。超声波换能器具备CMUT芯片(301)，CMUT芯片(301)包括：形成有多个单元的单元阵列区域CAR；以及与单元阵列区域CAR相邻接的周边区域PER，在单元阵列区域CAR配置梁结构体(201)，并且在周边区域PER配置相当于梁结构体(201)的多个图案结构体(311)。由此，将单元阵列区域CAR的单位表面积和周边区域PER的单位表面积的差减小。其结果，能够提高覆盖梁结构体(201)和图案结构体(311)的绝缘膜的膜厚的均匀性。