公开(公告)号：CN103155106A

公开(公告)日：2013-06-12

申请号：CN201280003296.1

申请日：2012-06-04

Applicant: 株式会社日本制钢所

Inventor： 小林直之 ,  山口芳广 ,  清野俊明 ,  工藤利雄

IPC: H01L21/268 ,  B23K26/00 ,  B23K26/06 ,  B23K26/073 ,  B23K26/08 ,  H01L21/20 ,  H01L21/265

CPC classification number: H01L21/02678 ,  B23K26/032 ,  B23K26/0732 ,  B23K26/082 ,  H01L21/02691 ,  H01L21/268

Abstract: 本发明能够用低成本的装置结构、以较高的控制性能对晶圆等被处理体照射可见激光和近红外激光，能以较高的生产率对被处理体进行激光处理。激光处理装置包括：输出可见激光的可见激光光源（G1）；传导可见光激光的可见光光学系统（GS）(光纤（G2）和准直透镜（G3）)；输出近红外激光的近红外激光光源（R1）；传导近红外激光的近红外光光学系统RS(光纤（R2）、聚光透镜（R3）、光纤（R4）和准直透镜（R5）)；以及使由可见光光学系统GS传导的可见激光和由近红外光光学系统（RS）传导的近红外激光进行合波，并将其传导至被处理体（1）的合波光学系统（MS）(分色镜（M1）、电流计镜（M2）和fθ透镜（M3）)。

公开(公告)号：CN103155106B

公开(公告)日：2016-09-07

申请号：CN201280003296.1

申请日：2012-06-04

Applicant: 株式会社日本制钢所

Inventor： 小林直之 ,  山口芳广 ,  清野俊明 ,  工藤利雄

IPC: H01L21/268 ,  B23K26/064 ,  B23K26/073 ,  B23K26/08 ,  H01L21/20 ,  H01L21/265

CPC classification number: H01L21/02678 ,  B23K26/032 ,  B23K26/0732 ,  B23K26/082 ,  H01L21/02691 ,  H01L21/268

Abstract: 本发明能够用低成本的装置结构、以较高的控制性能对晶圆等被处理体照射可见激光和近红外激光，能以较高的生产率对被处理体进行激光处理。激光处理装置包括：输出可见激光的可见激光光源（G1）；传导可见光激光的可见光光学系统（GS）(光纤（G2）和准直透镜（G3）)；输出近红外激光的近红外激光光源（R1）；传导近红外激光的近红外光光学系统RS(光纤（R2）、聚光透镜（R3）、光纤（R4）和准直透镜（R5）)；以及使由可见光光学系统GS传导的可见激光和由近红外光光学系统（RS）传导的近红外激光进行合波，并将其传导至被处理体（1）的合波光学系统（MS）(分色镜（M1）、电流计镜（M2）和fθ透镜（M3）)。