公开(公告)号：CN112619272A

公开(公告)日：2021-04-09

申请号：CN202010823739.8

申请日：2020-08-17

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 山口贵大 ,  山口直子 ,  藤田惠理 ,  髙桥贤二郎 ,  樋口鲇美 ,  脇田明日香 ,  相原友明 ,  田原香奈

IPC: B01D36/00 ,  B01D29/35 ,  B01D35/01 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种基板处理装置，能够向处理单元供给颗粒含量少的净化地处理液。基板处理装置(1)包括：药液罐(30)；与药液罐连接的第一循环配管(31)；泵，向第一循环配管(31)送出药液罐内的药液；第二循环配管(32)，与第一循环配管(31)分支连接；过滤器(39)，安装于第一循环配管(31)中的比第二循环配管(32)的连接位置(P2)更靠上游侧的上游侧部分(33)；以及压力调整单元，调整流经上游侧部分(33)的药液的压力。压力调整单元包括调整第二循环配管的开度的调节器(71)。调节器(71)使在基板处理装置的循环空闲状态下流经上游侧部分(33)的药液的压力与在基板处理装置的就绪状态下流经上游侧部分的药液的压力一致或接近。

公开(公告)号：CN112619272B

公开(公告)日：2022-12-20

申请号：CN202010823739.8

申请日：2020-08-17

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 山口贵大 ,  山口直子 ,  藤田惠理 ,  髙桥贤二郎 ,  樋口鲇美 ,  脇田明日香 ,  相原友明 ,  田原香奈

IPC: B01D36/00 ,  B01D29/35 ,  B01D35/01 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种基板处理装置，能够向处理单元供给颗粒含量少的净化地处理液。基板处理装置(1)包括：药液罐(30)；与药液罐连接的第一循环配管(31)；泵，向第一循环配管(31)送出药液罐内的药液；第二循环配管(32)，与第一循环配管(31)分支连接；过滤器(39)，安装于第一循环配管(31)中的比第二循环配管(32)的连接位置(P2)更靠上游侧的上游侧部分(33)；以及压力调整单元，调整流经上游侧部分(33)的药液的压力。压力调整单元包括调整第二循环配管的开度的调节器(71)。调节器(71)使在基板处理装置的循环空闲状态下流经上游侧部分(33)的药液的压力与在基板处理装置的就绪状态下流经上游侧部分的药液的压力一致或接近。