公开(公告)号：CN106239355B

公开(公告)日：2020-05-29

申请号：CN201610388363.6

申请日：2016-06-02

Applicant: 株式会社捷太格特

Inventor： 赖经昌史 ,  小林和矢

IPC: B24B37/30 ,  B24B37/34 ,  B24B37/005

Abstract: 本发明提出了一种能够在加工处理期间有效地保持工件的小尺寸电磁卡盘和配备有该电磁卡盘的多功能研磨机。电磁卡盘(61至64；161至164)包括电磁卡盘主体(170)和推压构件(180、280)，其中，电磁卡盘主体(170)设置有多个磁极部(172)以及形成在两者均形成于面板的上表面上的相邻磁极部(172)之间的槽部(173)，由此通过磁极部的磁性吸引力将工件(W)吸引并固定在磁极部(172)的上表面上，推压构件(180、280)设置在槽部(173)中，以使得当工件固定至磁极部(172)的上表面时推压构件(180、280)以比由磁极部(172)施加至工件的吸引力小的力沿与吸引方向相反的方向朝向工件(W)的下表面推压所述工件(W)。

公开(公告)号：CN106239355A

公开(公告)日：2016-12-21

申请号：CN201610388363.6

申请日：2016-06-02

Applicant: 株式会社捷太格特

Inventor： 赖经昌史 ,  小林和矢

IPC: B24B37/30 ,  B24B37/34 ,  B24B37/005

Abstract: 本发明提出了一种能够在加工处理期间有效地保持工件的小尺寸电磁卡盘和配备有该电磁卡盘的多功能研磨机。电磁卡盘(61至64；161至164)包括电磁卡盘主体(170)和推压构件(180、280)，其中，电磁卡盘主体(170)设置有多个磁极部(172)以及形成在两者均形成于面板的上表面上的相邻磁极部(172)之间的槽部(173)，由此通过磁极部的磁性吸引力将工件(W)吸引并固定在磁极部(172)的上表面上，推压构件(180、280)设置在槽部(173)中，以使得当工件固定至磁极部(172)的上表面时推压构件(180、280)以比由磁极部(172)施加至工件的吸引力小的力沿与吸引方向相反的方向朝向工件(W)的下表面推压所述工件(W)。