公开(公告)号：CN85107948A

公开(公告)日：1987-04-15

申请号：CN85107948

申请日：1985-10-14

申请人： 株式会社岛津制作所

发明人： 秋山修

IPC分类号： G01J3/12 ,  G01J3/18

摘要： 单色仪，通过在光路中设置反射装置或衍射装置，该单色仪能够起到单单色仪或双单色仪的作用。反射装置和散射装置都被设置在可用旋转驱动装置使其旋转的旋转底座上，以便可以把所述光学装置中的一个设置在所述光路中，从而使单色仪能根据被测的物体而起到最佳作用。

公开(公告)号：CN101814425A

公开(公告)日：2010-08-25

申请号：CN201010121550.0

申请日：2010-02-11

申请人： 株式会社岛津制作所 ,  东京毅力科创株式会社

发明人： 秋山修 ,  秋本雅司 ,  守屋刚 ,  山涌纯

IPC分类号： H01L21/00 ,  G01N21/31

CPC分类号： G01N21/3554 ,  G01N21/031 ,  G01N21/05 ,  G01N21/3504 ,  G01N21/9501 ,  H01L21/67253

摘要： 本发明提供一种半导体制造工艺用吸光分析装置，其具备与半导体制造工艺的处理室的排气流路连接的流路切换机构和多重反射型水分浓度计测用吸光分析计，该吸光分析计使来自激光光源的激光在单元内多重反射，检测单元内的气体的吸光度变化，并测定该气体中的水分浓度。所述流路切换机构将所述排气流路在经由所述单元而被排气的计测用流路和不经由所述单元而被排气的旁通流路之间进行切换并连接。

公开(公告)号：CN101814425B

公开(公告)日：2012-12-19

申请号：CN201010121550.0

申请日：2010-02-11

申请人： 株式会社岛津制作所 ,  东京毅力科创株式会社

发明人： 秋山修 ,  秋本雅司 ,  守屋刚 ,  山涌纯

IPC分类号： H01L21/00 ,  G01N21/31

CPC分类号： G01N21/3554 ,  G01N21/031 ,  G01N21/05 ,  G01N21/3504 ,  G01N21/9501 ,  H01L21/67253

摘要： 本发明提供一种半导体制造工艺用吸光分析装置，其具备与半导体制造工艺的处理室的排气流路连接的流路切换机构和多重反射型水分浓度计测用吸光分析计，该吸光分析计使来自激光光源的激光在单元内多重反射，检测单元内的气体的吸光度变化，并测定该气体中的水分浓度。所述流路切换机构将所述排气流路在经由所述单元而被排气的计测用流路和不经由所述单元而被排气的旁通流路之间进行切换并连接。

公开(公告)号：CN86106696A

公开(公告)日：1987-04-01

申请号：CN86106696

申请日：1986-09-27

申请人： 株式会社岛津制作所

发明人： 秋山修 ,  后藤诚治

IPC分类号： G01N21/01 ,  G01J3/00

CPC分类号： G01N21/255 ,  G01J3/42 ,  G01N21/474 ,  G01N21/59 ,  G01N2021/555 ,  G01N2201/065

摘要： 本发明涉及使用积分球的分光光度计的结构。以前，积分球固定在样品室内的底座上，因而，必须根据样品和测量目的来准备各种各样的积分球测量装置。本发明的分光光度计将积分球安装座设置在样品室内的底座上，可以任意改变积分球在样品室内的位置，并且可以使用光入射窗口和光出射窗口的相互位置不同或是窗口数量不同的各种形状的积分球。这样就可以根据测量的目的任意选择利用预先准备的几种积分球，从而进行各种积分球测量。

公开(公告)号：CN1012108B

公开(公告)日：1991-03-20

申请号：CN86106696

申请日：1986-09-27

申请人： 株式会社岛津制作所

发明人： 秋山修 ,  后藤诚治

IPC分类号： G01N21/01 ,  G01J3/42

CPC分类号： G01N21/255 ,  G01J3/42 ,  G01N21/474 ,  G01N21/59 ,  G01N2021/555 ,  G01N2201/065

摘要： 本发明涉及使用积分球的分光光度计的结构。以前，积分球固定在样品室内的底座上，因而，必须根据样品和测量目的来准备各种各样的积分球测量装置，本发明的分光光度计将积分球安装座设置在样品室内的底座上，可以任意改变积分球在样品室内的位置，并且可以使用光入射窗口和光出射窗口的相互位置不同或是窗口数量不同的各种形状的积分球，这样就可以根据测量的目的任意选择利用预先准备的几种积分球，从而进行各种积分球测量。

公开(公告)号：CN1007554B

公开(公告)日：1990-04-11

申请号：CN85107470

申请日：1985-10-11

申请人： 株式会社岛津制作所

发明人： 秋山修

IPC分类号： G01J3/02

摘要： 本发明涉及分光光度计的测光系统的组成。其组成包括：由累计球和接受累计球发出光的光检测器所组成的光检测部分，该光检测部分在试件室中无固定位置，可以放在试件室内任何位置上；同时，试件夹具以及反光镜、阻光器等辅助(光学)部件在试件室内也不固定，可以各自独立地安放在试件室内的任何位置上。本发明由于采用上述结构，能使测定中所必需的部件在试件室内的任何位置上安放、取出。

公开(公告)号：CN1007375B

公开(公告)日：1990-03-28

申请号：CN85107948

申请日：1985-10-14

申请人： 株式会社岛津制作所

发明人： 秋山修

IPC分类号： G01J3/12 ,  G01J3/18

摘要： 单色仪，通过在光路中设置反射部件或衍射部件，该单色仪能够起到单单色仪或双单色仪的作用。反射部件和色散部件都被设置在可用旋转驱动装置使其旋转的旋转平台上，以便可以把所述光学装置中的一个设置在所述光路中，从而使单色仪能根据被测的物体而起到最佳作用。

公开(公告)号：CN85107470A

公开(公告)日：1987-04-15

申请号：CN85107470

申请日：1985-10-11

申请人： 株式会社岛津制作所

发明人： 秋山修

IPC分类号： G01J3/00

摘要： 本发明涉及分光光度计的测光系统的组成。其组成包括：由累计球和接受累计球发出光的光检测器所组成的光检测部分，该光检测部分在试件室中无固定位置，可以放在试件室内任何位置上；同时，试件夹具以及反光镜、阻光器等辅助(光学)部件在试件室内也不固定，可以各自独立地安放在试件室内的任何位置上。本发明由于采用上述结构，能使测定中所必需的部件在试件室内的任何位置上安放、取出。