公开(公告)号：CN117419657A

公开(公告)日：2024-01-19

申请号：CN202311327865.4

申请日：2018-02-27

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 中野澄人 ,  近藤诚

IPC: G01B11/24

Abstract: 能够容易地设定可准确进行形状测定的测定条件。像解析装置具备：像解析部(83)，其基于被测定物的设计信息和测定条件，来检测在对基于投射到被测定物的光形成的像进行了拍摄的情况下对于被测定物的形状测定来说不恰当的像；和输出部(88)，其输出基于像解析部(83)的检测结果的信息即检测结果信息。

公开(公告)号：CN1313633A

公开(公告)日：2001-09-19

申请号：CN01111828.8

申请日：2001-03-13

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 近藤诚

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/027 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F7/707

Abstract: 在基底构件(4)上边形成沿着晶片的轮廓闭合的凸缘部分(2),在被凸缘部分(2)包含起来的区域内把多个插针(1)排列成正三角形的网格状形成晶片保持器(WH)。在把晶片载置到晶片保持器(WH)上边时,打开通向真空室(8a)的阀门(V2)高速地吸附晶片。然后,一直到从晶片保持器(WH)取出晶片为止,打开通向真空泵(7)的阀门(V1)关闭阀门(V2),减弱吸附力。此外,在从晶片保持器(WH)取出晶片时,关闭阀门(V3),用供气装置(9)向晶片的底面吹气体。

公开(公告)号：CN112055803B

公开(公告)日：2024-02-13

申请号：CN201880092731.X

申请日：2018-02-27

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 中野澄人 ,  近藤诚

IPC: G01B11/25

Abstract: 能够容易地设定可准确进行形状测定的测定条件。像解析装置具备：像解析部(83)，其基于被测定物的设计信息和测定条件，来检测在对基于投射到被测定物的光形成的像进行了拍摄的情况下对于被测定物的形状测定来说不恰当的像；和输出部(88)，其输出基于像解析部(83)的检测结果的信息即检测结果信息。

公开(公告)号：CN112055803A

公开(公告)日：2020-12-08

申请号：CN201880092731.X

申请日：2018-02-27

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 中野澄人 ,  近藤诚

IPC: G01B11/25

Abstract: 能够容易地设定可准确进行形状测定的测定条件。像解析装置具备：像解析部(83)，其基于被测定物的设计信息和测定条件，来检测在对基于投射到被测定物的光形成的像进行了拍摄的情况下对于被测定物的形状测定来说不恰当的像；和输出部(88)，其输出基于像解析部(83)的检测结果的信息即检测结果信息。

公开(公告)号：CN1306583C

公开(公告)日：2007-03-21

申请号：CN01111828.8

申请日：2001-03-13

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 近藤诚

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/027 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F7/707

Abstract: 一种保持平板状衬底的衬底保持装置，它具有：基底构件；和多个突起状的支持部分，其每一个顶端部分实质上都位于同一平面上而且在上述基底构件上边被配置成三角形的网格状，如果设该多个支持部分中被配置成三角形网格状的两个支持部分的间隔为a[m]，设对上述衬底的吸引力为p[N/m]，设上述衬底的允许变形量为δmax[m]，设扬氏模量为E[Pa]，设厚度为t[m]，满足p·a4≤18·E·t3·δmax。可以减小用静电吸附等进行吸附情况下的衬底变形量，抑制衬底平坦度的恶化。

公开(公告)号：CN1427309A

公开(公告)日：2003-07-02

申请号：CN02151494.1

申请日：2002-11-22

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 近藤诚

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/707

Abstract: 在构成夹具主体的主体部上表面，设置多个销钉部以及上端面设定为与销钉部的前端面大致为同一高度的环缘部。此外，主体部由蜂窝夹层构造体构成。此外，蜂窝芯的通孔与多个销钉部的配置对应的配置形成。通过真空吸附机构，晶片被真空吸附在多个销钉部的各个前端部分以及环缘部的前端部上。此外，在多个销钉部中，至少位于环缘部附近的销钉部与位于其他部分的销钉部相比，以较密的间隔配置。