Saved successfully
Save failed
Saved Successfully
Save Failed
公开(公告)号：CN117419657A
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN202311327865.4
申请日：2018-02-27
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 中野澄人 , 近藤诚
IPC: G01B11/24
Abstract: 能够容易地设定可准确进行形状测定的测定条件。像解析装置具备：像解析部(83)，其基于被测定物的设计信息和测定条件，来检测在对基于投射到被测定物的光形成的像进行了拍摄的情况下对于被测定物的形状测定来说不恰当的像；和输出部(88)，其输出基于像解析部(83)的检测结果的信息即检测结果信息。
公开(公告)号：CN112055803B
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN201880092731.X
IPC: G01B11/25
公开(公告)号：CN112055803A
公开(公告)日：2020-12-08
