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发明公开
搬送装置、曝光装置、搬送方法、曝光方法、对准标记审中-实审

公开(公告)号：CN118843836A

公开(公告)日：2024-10-25

申请号：CN202380026416.8

申请日：2023-03-24

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 金丸雄纪 , 黒岩大祐 , 森崎嘉武 , 大川智之 , 广瀬正明 , 牛岛康之 , 若林正宏

IPC: G03F9/00 , H01L21/68

Abstract: 本发明的搬送装置(20)具备：对准机构(22)，将配置于保持部(21)上的多个基板(P)分别相对于保持部(21)定位；吸附机构(23)，使多个基板(P)吸附于保持部(21)上；及搬送机构(24)，将保持部(21)搬送至曝光装置。

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