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发明公开
曝光装置审中-实审

公开(公告)号：CN120019334A

公开(公告)日：2025-05-16

申请号：CN202380071747.3

申请日：2023-10-12

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 秋山贵信 , 大川智之

IPC: G03F9/00 , G03F7/20 , H01L21/68

Abstract: 本发明的目的在于，在保持基板的基板保持具上配置基板时，对如改变基板的方向而配置，或者配置多片基板的情形那样，以各种形态配置的基板的位置进行检测。曝光装置具备：保持部(201)，保持多个基板；多个第一传感器(210)，检测所述多个基板各自相对于所述保持部(201)的位置；载台部(121)，配置所述多个基板；以及多个第二传感器(150)，检测所述多个基板各自相对于所述载台部(121)的位置，所述多个第二传感器(150)的数量少于所述多个第一传感器(210)的数量。

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