公开(公告)号：CN103459976A

公开(公告)日：2013-12-18

申请号：CN201180069675.6

申请日：2011-04-12

Applicant: 株式会社尼利可

Inventor： 山田健夫 ,  山本猛 ,  河合慎吾

IPC: G01B11/06

CPC classification number: G01B11/0625

Abstract: 本发明的膜厚测定装置具有分光传感器（113）和数据处理部（120），其中，所述分光传感器测定在基材上涂布的膜的分光数据，所述数据处理部根据所测定的分光数据求出测定颜色特性变量，将该测定颜色特性变量与针对膜的厚度和折射率的多个组的值求出的多个组的理论颜色特性变量进行比较，使用对应于与该测定颜色特性变量之差最小的理论颜色特性变量的组的值确定该膜的折射率，使用该膜的该折射率确定该膜的厚度。

公开(公告)号：CN101981406A

公开(公告)日：2011-02-23

申请号：CN200980111320.1

申请日：2009-07-24

Applicant: 株式会社尼利可

Inventor： 山田健夫 ,  山本猛 ,  山仓崇宽 ,  林真治 ,  河合慎吾

IPC: G01B11/06 ,  G01N21/27

CPC classification number: G01N21/55 ,  G01B11/0625

Abstract: 本发明提供一种膜厚测定装置以及膜厚测定方法，膜厚测定装置具有光源(101)、分光传感器(109)、处理器(120)、和存储装置(130)，使来自上述光源的光垂直地入射到具有膜的测定对象面(501)，被测定对象面反射的光入射到上述分光传感器。上述存储装置存储每种膜厚的反射率分布的理论值和每种膜厚的颜色特性变量的理论值，上述处理器使用存储于上述存储装置中的每种膜厚的反射率分布的理论值或每种膜厚的颜色特性变量的理论值，根据上述分光传感器所测定的反射率分布，求出测定对象面的膜的膜厚。