-
公开(公告)号:CN101318328B
公开(公告)日:2012-11-07
申请号:CN200810097685.0
申请日:2008-05-22
Applicant: 株式会社安川电机
Abstract: 本发明提供一种能准确地检测出玻璃基板的位置,然后校正位置进行搬运的基板搬运机器人。基板搬运机器人(1),具备:由连杆机构构成的升降机构;由连杆机构构成的水平多关节机构;在所述水平多关节机构上载置矩形形状的基板W的手部(9);及装备于所述升降机构的移动台车(12),在所述手部(9)与所述水平多关节机构之间具备支柱(8),在所述支柱(8)上具备检测所述基板W的位置的传感器(10)。
-
公开(公告)号:CN101318328A
公开(公告)日:2008-12-10
申请号:CN200810097685.0
申请日:2008-05-22
Applicant: 株式会社安川电机
Abstract: 本发明提供一种能准确地检测出玻璃基板的位置,然后校正位置进行搬运的液晶搬运机器人。液晶搬运机器人(1),具备:由连杆机构(1A,2A)构成的升降机构(1C,2C);由连杆机构(3A,4A)构成的水平多关节机构(3C,4C);在所述水平多关节机构上载置矩形形状的基板W的手部(9);及装备于所述升降机构(1C,2C)的移动台车(12),在所述手部(9)与所述水平多关节机构(3C,4C)之间具备支柱(8),在所述支柱(8)上具备检测所述基板W的位置的传感器(10)。
-