公开(公告)号：CN112970108A

公开(公告)日：2021-06-15

申请号：CN201980070330.9

申请日：2019-10-18

Applicant: 株式会社大赛璐

Inventor： 辻直子 ,  山川章 ,  隅田克彦

IPC: H01L25/065 ,  H01L25/07 ,  H01L25/18

Abstract: 本发明的目的在于在经过制作有半导体元件的晶片的层叠而将半导体元件多层化的半导体装置制造方法中，提供在抑制晶片层叠体的翘曲的同时效率良好地制造半导体装置的方法。本发明的半导体装置制造方法至少包括准备工序、薄化工序、以及接合工序。在准备工序中，准备多个第1晶片层叠体。各第1晶片层叠体具有层叠结构，所述层叠结构包含分别具有元件形成面和与其相反的背面的第1晶片及第2晶片，且该第1及第2晶片的元件形成面侧彼此接合。在薄化工序中，将第1晶片层叠体的第1晶片薄化而形成具有该薄化第1晶片的第1晶片层叠体。在接合工序中，将经过薄化工序后的两个第1晶片层叠体的薄化第1晶片侧彼此接合，形成第2晶片层叠体。

公开(公告)号：CN105722654B

公开(公告)日：2018-02-02

申请号：CN201480062591.3

申请日：2014-11-04

Applicant: 株式会社大赛璐 ,  大赛璐优越涂层株式会社

Inventor： 尾道浩 ,  隅田克彦 ,  冈野善道 ,  西村协 ,  冈田和之 ,  八重樫敬之 ,  铃木健

IPC: B29C33/68 ,  H01M8/1069 ,  H01M4/88

CPC classification number: H01M8/1093 ,  B29C33/68 ,  C08F232/08 ,  C08J5/2275 ,  C08J7/042 ,  C08J7/047 ,  C08J2300/12 ,  C08J2367/00 ,  C08J2427/18 ,  C08J2427/22 ,  C08J2445/00 ,  H01M4/881 ,  H01M4/8814 ,  H01M8/1004 ,  H01M8/1069 ,  H01M2008/1095 ,  Y02P70/56

Abstract: 由含有在侧链具有碳原子数为3～10的烷基的烯烃单元的环状烯烃类树脂，形成用于制造固体高分子型燃料电池的膜电极接合体的脱模膜的脱模层。所述脱模层的玻璃化转变温度可以是210～350℃左右。所述脱模层的动态储能弹性模量E’可以在‑50～100℃的范围内具有转变点。可以在该脱模膜的脱模层上，以卷对卷的方式叠层含有离子交换树脂的离子交换层，从而制造叠层体。可以从该叠层体剥离脱模膜从而制造所述膜电极接合体。该脱模膜可以提高固体高分子型燃料电池的膜电极接合体(电解质膜和/或电极膜)的生产性。

公开(公告)号：CN105722654A

公开(公告)日：2016-06-29

申请号：CN201480062591.3

申请日：2014-11-04

Applicant: 株式会社大赛璐 ,  大赛璐优越涂层株式会社

Inventor： 尾道浩 ,  隅田克彦 ,  冈野善道 ,  西村协 ,  冈田和之 ,  八重樫敬之 ,  铃木健

IPC: B29C33/68 ,  H01M8/1069 ,  H01M4/88

CPC classification number: H01M8/1093 ,  B29C33/68 ,  C08F232/08 ,  C08J5/2275 ,  C08J7/042 ,  C08J7/047 ,  C08J2300/12 ,  C08J2367/00 ,  C08J2427/18 ,  C08J2427/22 ,  C08J2445/00 ,  H01M4/881 ,  H01M4/8814 ,  H01M8/1004 ,  H01M8/1069 ,  H01M2008/1095 ,  Y02P70/56

Abstract: 由含有在侧链具有碳原子数为3～10的烷基的烯烃单元的环状烯烃类树脂，形成用于制造固体高分子型燃料电池的膜电极接合体的脱模膜的脱模层。所述脱模层的玻璃化转变温度可以是210～350℃左右。所述脱模层的动态储能弹性模量E’可以在-50～100℃的范围内具有转变点。可以在该脱模膜的脱模层上，以卷对卷的方式叠层含有离子交换树脂的离子交换层，从而制造叠层体。可以从该叠层体剥离脱模膜从而制造所述膜电极接合体。该脱模膜可以提高固体高分子型燃料电池的膜电极接合体(电解质膜和/或电极膜)的生产性。