公开(公告)号：CN104299892A

公开(公告)日：2015-01-21

申请号：CN201410343245.4

申请日：2014-07-18

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 李永芳 ,  稻浪良市 ,  三本木晶子 ,  佐藤隆 ,  齐藤匡人 ,  国分弘一

IPC: H01L21/027

CPC classification number: C25D5/02 ,  C25D11/005 ,  C25D11/022 ,  C25D11/32 ,  G03F7/0002 ,  H01L21/027 ,  H01L21/0274

Abstract: 根据一个实施例，图案转印模具包括基体、第一和第二叠层体、第一和第二电极。基体包括：包括第一表面的基本单元，设置在第一表面上且具有第一侧表面的第一凸部，和设置在第一表面上、与所述第一凸部分开并且具有与第一侧表面相对的第二侧表面的第二凸部。第一叠层体设置在第一侧表面上，并且包括第一导电层和第一绝缘层。第二叠层体设置在第二侧表面上、与所述第一叠层体分开并且包括第二导电层和第二绝缘层。第一电极电连接到第一导电层中的至少一个上。第二电极电连接到第二导电层中的至少一个上。