-
公开(公告)号：CN101028762A
公开(公告)日：2007-09-05
申请号：CN200610172149.3
申请日：2006-12-26
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: B41J2/18 , B41J2/19 , H01L51/0005
Abstract: 本发明提供一种液滴喷射装置，能防止因液体成分的沉淀及液体内的气泡引起的喷出不良。本发明的液滴喷射装置备有液滴喷出头(2)、液体供给流路(21)、液体供给部(17)、液体返回流路(22)和液体返回部(19)。液滴喷出头(2)具有从液体收容部(16)供给来的液体通过的内部流路(2a)，把通过了该内部流路(2a)的液体作为液滴喷出。液体供给流路(21)将液体收容部(16)与液滴喷出头(2)的内部流路(2a)连通。液体供给部(17)设在液体供给流路(21)中，把液体从液体收容部(16)通过液体供给流路(21)供给到液滴喷出头(2)。液体返回流路(22)将液滴喷出头(2)的内部流路(2a)与液体收容部(16)连通。液体返回部(19)设在液体返回流路(22)中，把通过了液滴喷出头(2)的内部流路(2a)的液体，从液滴喷出头(2)通过液体返回流路(22)返回到液体收容部(16)。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101041149B
公开(公告)日：2012-06-20
申请号：CN200610172148.9
申请日：2006-12-26
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: F26B5/04
Abstract: 本发明提供的液滴喷射装置，能防止因弹射到涂敷对象物表面的液滴的表层膜破裂而导致的涂敷体的制造不良。本发明的液滴喷射装置备有：将液滴喷射涂敷到涂敷对象物(2a)上的涂敷部；收容涂敷了液滴的涂敷对象物(2a)的收容室(5a)；将收容室(5a)内的气体排出的排气部(5c)；调节排气部(5c)从收容室(5a)内排出的气体的排气流量的调节部(5d)；以使排气流量逐步变化的方式控制调节部(5d)的控制机构。
-
公开(公告)号：CN101037046A
公开(公告)日：2007-09-19
申请号：CN200610142976.8
申请日：2006-10-26
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: B41J2/1652
Abstract: 本发明提供能抑制装置大型化、防止液滴喷射不良的发生的液滴喷射装置。该液滴喷射装置备有液滴喷射头(7)、抽吸部(21)、支承移动部(22)和排气部(23)。液滴喷射头(7)可移动地设置着，具有形成了若干个喷嘴(7a)的喷嘴面(7b)，从若干个喷嘴(7a)分别喷射液滴。抽吸部(21)从与喷嘴面(7b)相向的相向位置，抽吸被液滴喷射头(7)喷射的液滴。支承移动部(22)支承抽吸部(21)并且能使其与液滴喷射头(7)一起移动，将支承着的抽吸部(21)移动到相向位置和离开该相向位置的非相向位置。排气部对抽吸部(21)内进行排气，对抽吸部(21)付与抽吸力。
-
公开(公告)号：CN101274534A
公开(公告)日：2008-10-01
申请号：CN200810087990.1
申请日：2008-03-28
Applicant: 株式会社东芝
Abstract: 本发明提供可抑制喷射不良的液滴喷射涂敷装置。液滴喷射涂敷装置(1)备有：喷射从液体收容部(21)供给的液体的液滴喷射头(H)、从液体收容部(21)通过液体供给流路(31)向液滴喷射头(H)供给液体的液体供给部(P1)、设在液体供给流路(31)中的比液体供给部(P1)靠近液滴喷射头(H)侧并使流入的液体滴下的第1缓冲液体储存部(19)、将液体从液滴喷射头(H)通过液体返回流路(32)返回到液体收容部(21)或第1缓冲液体储存部(19)的液体返回部(P3、P4)、以及设在液体返回流路(32、33)中的比液体返回部(P3)靠近液滴喷射头(H)侧并使流入的液体滴下的第2缓冲液体储存部(20)。
-
公开(公告)号：CN101041149A
公开(公告)日：2007-09-26
申请号：CN200610172148.9
申请日：2006-12-26
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: F26B5/04
Abstract: 本发明提供的液滴喷射装置，能防止因弹射到涂敷对象物表面的液滴的表层膜破裂而导致的涂敷体的制造不良。本发明的液滴喷射装置备有：将液滴喷射涂敷到涂敷对象物(2a)上的涂敷部；收容涂敷了液滴的涂敷对象物(2a)的收容室(5a)；将收容室(5a)内的气体排出的排气部(5c)；调节排气部(5c)从收容室(5a)内排出的气体的排气流量的调节部(5d)；以使排气流量逐步变化的方式控制调节部(5d)的控制机构。
-
公开(公告)号：CN101274534B
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN200810087990.1
申请日：2008-03-28
Applicant: 株式会社东芝
Abstract: 本发明提供可抑制喷射不良的液滴喷射涂敷装置。液滴喷射涂敷装置(1)备有：喷射从液体收容部(21)供给的液体的液滴喷射头(H)、从液体收容部(21)通过液体供给流路(31)向液滴喷射头(H)供给液体的液体供给部(P1)、设在液体供给流路(31)中的比液体供给部(P1)靠近液滴喷射头(H)侧并使流入的液体滴下的第1缓冲液体储存部(19)、将液体从液滴喷射头(H)通过液体返回流路(32)返回到液体收容部(21)或第1缓冲液体储存部(19)的液体返回部(P3、P4)、以及设在液体返回流路(32、33)中的比液体返回部(P3)靠近液滴喷射头(H)侧并使流入的液体滴下的第2缓冲液体储存部(20)。
-
-
-
-
-
Search Results
6
records
(took 0.014 seconds)
