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公开(公告)号：CN104364884A
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201380031514.7
申请日：2013-06-14
IPC: H01L21/301 , B24D3/00 , B24D3/06 , B24D5/12
CPC classification number: B24B19/02 , B24B9/065 , B24B27/06 , B24D5/12 , B28D5/0029
Abstract: 即使对于由脆性材料构成的工件，也不产生裂纹、破裂，而以延展性模式稳定且高精度地进行切断加工。在对工件(W)进行切断加工切割装置(10)中，具备：切割刀片(26)，其由对金刚石磨粒进行烧结而形成的金刚石烧结体(80)构成为圆盘状，所述金刚石烧结体(80)的所述金刚石磨粒的含量为80％以上；主轴单元(旋转机构)(28)，其使所述切割刀片(26)旋转；移动机构，其在通过所述切割刀片(26)对所述工件(W)切入恒定的切入深度的同时，使所述工件(W)相对于所述切割刀片(26)进行相对移动。
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公开(公告)号：CN104364884B
公开(公告)日：2017-06-23
申请号：CN201380031514.7
申请日：2013-06-14
IPC: H01L21/301 , B24D3/00 , B24D3/06 , B24D5/12
CPC classification number: B24B19/02 , B24B9/065 , B24B27/06 , B24D5/12 , B28D5/0029
Abstract: 即使对于由脆性材料构成的工件，也不产生裂纹、破裂，而以延展性模式稳定且高精度地进行切断加工。在对工件(W)进行切断加工切割装置(10)中，具备：切割刀片(26)，其由对金刚石磨粒进行烧结而形成的金刚石烧结体(80)构成为圆盘状，所述金刚石烧结体(80)的所述金刚石磨粒的含量为80％以上；主轴单元(旋转机构)(28)，其使所述切割刀片(26)旋转；移动机构，其在通过所述切割刀片(26)对所述工件(W)切入恒定的切入深度的同时，使所述工件(W)相对于所述切割刀片(26)进行相对移动。
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公开(公告)号：CN104303270B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201380021974.1
申请日：2013-04-24
IPC: H01L21/301 , B24D3/00 , B24D5/00 , B24D5/12
Abstract: 本发明提供一种切割刀，其即使对于由脆性材料构成的工件，也能够不产生裂纹、破裂地以延展性模式稳定且高精度地进行切断加工。对工件进行切断加工的切割刀(26)中，所述切割刀(26)通过将金刚石磨粒(82)烧结而形成的金刚石烧结体(80)呈圆盘状地一体构成，所述金刚石烧结体(80)的所述金刚石磨粒(82)的含有量为80vol％以上。在所述切割刀(26)的外周部，形成在所述金刚石烧结体(80)的表面上的凹部优选沿着周向连续设置。
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公开(公告)号：CN104303270A
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201380021974.1
申请日：2013-04-24
IPC: H01L21/301 , B24D3/00 , B24D5/00 , B24D5/12
CPC classification number: B28D5/022 , B24B27/06 , B24D5/12 , B28D1/121 , B24B19/028 , B24B19/22 , B24B27/0023 , B24B27/0076
Abstract: 本发明提供一种切割刀，其即使对于由脆性材料构成的工件，也能够不产生裂纹、破裂地以延展性模式稳定且高精度地进行切断加工。对工件进行切断加工的切割刀(26)中，所述切割刀(26)通过将金刚石磨粒(82)烧结而形成的金刚石烧结体(80)呈圆盘状地一体构成，所述金刚石烧结体(80)的所述金刚石磨粒(82)的含有量为80vol％以上。在所述切割刀(26)的外周部，形成在所述金刚石烧结体(80)的表面上的凹部优选沿着周向连续设置。
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