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发明公开
壳体以及探测器审中-实审

公开(公告)号：CN118355479A

公开(公告)日：2024-07-16

申请号：CN202280079960.4

申请日：2022-09-30

Applicant: 株式会社东京精密

Inventor： 长岛秀明

IPC: H01L21/66 , G01R31/26 , H01L21/677

Abstract: 本发明提供能够不招致检查的吞吐量的下降地有效降低由在各层级产生的振动引起的影响的探测器用的壳体以及应用了该壳体的探测器。具有多个测定部(30)呈多层层叠而成的层级构造的探测器用的壳体(1)具备：地板基座(10)，其构成层级构造的各层级的地板面；以及侧部框架体(20)，其配置于多个层级中的一个层级的地板基座(10)与位于一个层级的上层的另一层级的地板基座(10)之间，并位于测定部(30)的两侧部，侧部框架体(20)具有：第一侧部框架(21)，其立起设置于一个层级的地板基座(10)，并对另一层级的地板基座的下表面侧进行支承；以及第二侧部框架(22)，其在与第一侧部框架(21)不同的位置立起设置于一个层级的地板基座(10)，并对配置于测定部(30)的测定部构成构件进行支承。

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