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公开(公告)号：CN119032252A
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN202380030106.3
申请日：2023-03-15
Applicant: 株式会社东京精密
Inventor： 林恭平
IPC: G01B11/24
Abstract: 提供能够减轻由在测定时产生的振动的影响带来的误差的表面形状测定装置及表面形状测定方法。测定测定对象物的表面形状的表面形状测定装置具备：第一拍摄系统，其一边相对于测定对象物沿垂直方向进行相对扫描一边每隔规定的拍摄间隔而拍摄测定对象物；第二拍摄系统，其与第一拍摄系统分体，且与第一拍摄系统同步地拍摄测定对象物或测定对象物的支承物；运算部，其基于第一拍摄系统拍摄到的多个第一拍摄图像，来算出测定对象物的表面形状；存储部，其存储用于将第二拍摄系统的第二坐标系变换为第一拍摄系统的第一坐标系的坐标系变换信息；位移检测部，其基于第二拍摄系统拍摄到的多个第二拍摄图像，来检测第一拍摄系统的拍摄中的测定对象物的位移；以及修正部，其基于位移检测部检测到的位移的检测结果和坐标系变换信息，来修正运算部所算出的表面形状。
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