公开(公告)号：CN115461593B

公开(公告)日：2023-08-29

申请号：CN202180029321.2

申请日：2021-02-22

Applicant: 株式会社东京精密

Inventor： 森井秀树 ,  井上拓也

IPC: G01B5/20 ,  G01B5/28 ,  G01B21/30

Abstract: 提供了一种能够抑制环境温度对测量结果的影响的测量装置。该测量装置(10、10‑1、10‑2)包括：探针部(14)，所述探针部设有用于测量待测量物体的表面的探针(12)，并且所述探针部被附接成能够根据所述待测量物体的表面的形状围绕摆动中心摆动；标尺，所述标尺用于通过所述探针部的摆动来测量位移；标尺头(26)，所述标尺头用于读取所述标尺的标尺标记；和臂部(16)，所述探针部和标尺附接到所述臂部，并且所述臂部被附接成能够与所述探针部一体地围绕所述摆动中心摆动。在所述探针部的热膨胀系数、所述臂部的热膨胀系数和所述标尺的热膨胀系数分别为α、β和γ时，满足(α+γ)‑1/2α≤β≤(α+γ)+1/2α的条件。

公开(公告)号：CN115461593A

公开(公告)日：2022-12-09

申请号：CN202180029321.2

申请日：2021-02-22

Applicant: 株式会社东京精密

Inventor： 森井秀树 ,  井上拓也

IPC: G01B5/20 ,  G01B5/28 ,  G01B21/30

Abstract: 提供了一种能够抑制环境温度对测量结果的影响的测量装置。该测量装置(10、10‑1、10‑2)包括：探针部(14)，所述探针部设有用于测量待测量物体的表面的探针(12)，并且所述探针部被附接成能够根据所述待测量物体的表面的形状围绕摆动中心摆动；标尺，所述标尺用于通过所述探针部的摆动来测量位移；标尺头(26)，所述标尺头用于读取所述标尺的标尺标记；和臂部(16)，所述探针部和标尺附接到所述臂部，并且所述臂部被附接成能够与所述探针部一体地围绕所述摆动中心摆动。在所述探针部的热膨胀系数、所述臂部的热膨胀系数和所述标尺的热膨胀系数分别为α、β和γ时，满足(α+γ)‑1/2α≤β≤(α+γ)+1/2α的条件。