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公开(公告)号:CN103094071A
公开(公告)日:2013-05-08
申请号:CN201210424069.8
申请日:2012-10-30
Applicant: 林清富
IPC: H01L21/02
CPC classification number: H01L21/0237 , H01L21/02458 , H01L21/02554 , H01L21/02628 , H01L33/0079 , H01L33/0087 , H01L33/28
Abstract: 本发明是有关于一种于氮化镓上制作氧化锌的方法与其应用,特别是有关一种利用水热法于氮化镓上制作氧化锌的方法与应用氧化锌回收基板的方法。该方法包括:提供基板;于该基板上制作氮化镓层;以及利用水热法制作氧化锌薄膜于该氮化镓层上。