透镜单元
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1641395A

    公开(公告)日:2005-07-20

    申请号:CN200510003795.2

    申请日:2005-01-12

    CPC classification number: G11B7/1372 G02B7/021 G11B7/22

    Abstract: 本发明公开了一种透镜单元,其具有:带有开口和内壁、并具有通过该开口的光轴的镜筒;沿着其光轴配置于镜筒内的第1透镜;沿着其光轴配置于镜筒内的第2透镜;设置于镜筒内壁上、定位第1透镜和第2透镜的3个柱状体。3个柱状体分别具有相对光轴并与光轴倾斜的、与第1透镜外周和第2透镜外周相接的面。该透镜单元能够高精度地定位多个透镜。

    溅射成膜装置
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100378245C

    公开(公告)日:2008-04-02

    申请号:CN200410076691.X

    申请日:2004-07-16

    Inventor: 野田俊成

    Abstract: 一种溅射成膜装置,其包括:配置于真空容器(30)的内部的一对靶(31);与这一对靶(31)大致垂直,并配置于离开一对靶(31)构成的空间的位置上的基板托架(33);在该基板托架(33)的附近通过余辉等离子体而产生反应用等离子体的等离子体源(37);连接该等离子体源(37)和真空容器(30)的导入管(38)。由于可在基板托架(33)的附近生成由余辉等离子体构成的反应用等离子体,所以对体积特性接近的化合物薄膜没有等离子体造成的损伤,并可以在低基板温度下进行成膜。

    透镜单元
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100462763C

    公开(公告)日:2009-02-18

    申请号:CN200580036604.0

    申请日:2005-11-04

    Abstract: 本发明提供一种透镜单元,该透镜单元包括:具有贯通孔(6)的镜筒(7)、压入到贯通孔(6)中的第一透镜(8a)、将第一透镜(8a)的外周端部卡合固定到贯通孔(6)中的第一台阶部(9a)、在第一透镜(8a)的光轴方向压入到贯通孔(6)中且直径比第一透镜(8a)大的第二透镜(8b)、将第二透镜(8b)的外周端部卡合固定到贯通孔(6)中的第二台阶部(9b)。其中,在第一台阶部(9a)和第二台阶部(9b)之间还设置第三台阶部(10a)和从第一透镜侧向第二透镜侧扩开的倾斜区域中的任一种。

    透镜单元
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101052909A

    公开(公告)日:2007-10-10

    申请号:CN200580036604.0

    申请日:2005-11-04

    Abstract: 本发明提供一种透镜单元,该透镜单元包括:具有贯通孔(6)的镜筒(7)、压入到贯通孔(6)中的第一透镜(8a)、将第一透镜(8a)的外周端部卡合固定到贯通孔(6)中的第一台阶部(9a)、在第一透镜(8a)的光轴方向压入到贯通孔(6)中且直径比第一透镜(8a)大的第二透镜(8b)、将第二透镜(8b)的外周端部卡合固定到贯通孔(6)中的第二台阶部(9b)。其中,在第一台阶部(9a)和第二台阶部(9b)之间还设置第三台阶部(10a)和从第一透镜侧向第二透镜侧扩开的倾斜区域中的任一种。

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