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发明公开
原子氢处理设备无效

公开(公告)号：CN101256932A

公开(公告)日：2008-09-03

申请号：CN200710164874.0

申请日：2007-07-04

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 土师宏 , 有田洁 , 森迫勇

IPC: H01L21/00 , H01L21/3065 , H01L21/302 , H01L21/306 , H01L21/027 , H01L21/311

Abstract: 在用于使原子氢与处理室(3)中的处理对象(5)(例如衬底)接触从而进行表面处理的原子氢处理设备中，原子氢发生器(11)和处理室能够通过用于引入的开口部分(2c)相互连通。原子氢发生器(11)具有通过使氢气与发生室(21a)加热器箱(12)中包括的钨加热器接触而产生原子氢的功能，用于引入的开口部分(2c)能通过闸板构件(7)自由地开启和关闭。由此，能够独立于处理室(3)的状态地使发生室保持在压力降低状态，因此消除了钨加热器升高温度和冷却钨加热器的等待时间。因此，能够提高原子氢处理的处理效率。

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