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公开(公告)号：CN1882028A
公开(公告)日：2006-12-20
申请号：CN200610093774.9
申请日：2006-06-19
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H04N1/0311 , G02B3/0087 , G02B5/1876 , G02B5/1885 , H04N1/0282 , H04N1/0312
Abstract: 本发明提供一种密合型固体摄像装置，具有高分辨率以及高灵敏度的特征，并且实现了小型化及低成本化。各像素包括：保护玻璃板(4)、聚光元件(5)、受光元件(7)、半导体集成电路(8)、发光二极管(LED)(9)以及安装外壳(10)。聚光元件由2种梯度折射率透镜(“O”型、凸型)构成，在二氧化硅(N＝1.45)膜中填埋有具有2层结构的同心形状的氮化硅(N＝2)膜。
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公开(公告)号：CN101098415A
公开(公告)日：2008-01-02
申请号：CN200710126372.9
申请日：2007-06-29
Applicant: 松下电器产业株式会社
Inventor： 岁清公明
IPC: H04N5/335 , H01L27/146
CPC classification number: H01L27/14625 , H01L27/14632
Abstract: 提供一种固体摄像元件等，具有可以高效率地对入射光进行聚光的聚光元件，可以缓解急剧的折射率分布。固体摄像元件(尺寸5.6μm×5.6μm)具有：渐变折射率透镜、绿色用滤色片、AL布线、信号传输部、平坦化层、聚光元件(Si光电二极管)以及Si基板。渐变折射率透镜的同心圆结构由SiO2(n＝1.43)构成，是膜厚为1.2μm，0.8μm的2层结构。并且，渐变折射率透镜是将SiO2雕刻成同心圆形状的结构，且在中央附近具有平面区域。并且，周围的媒质为空气(n＝1)。
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公开(公告)号：CN1881605A
公开(公告)日：2006-12-20
申请号：CN200610093778.7
申请日：2006-06-19
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L27/146
CPC classification number: H01L27/14627 , H01L27/14685
Abstract: 提供一种能够与入射角大的光学系统相对应的高灵敏度的固体摄像装置等。各像素(尺寸：2.25μm)包括：渐变折射率透镜(1)、色彩过滤器(2)(例如，绿色用)、AL配线(3)、信号传送部(4)、平坦化层(5)、受光元件(硅光电二极管)(6)及硅基板(7)。渐变折射率透镜的同心圆结构是由二氧化硅(n＝2)构成的2层同心圆结构，其中的膜厚为：1.2μm(灰色部分)、0.8μm(点状图案部分)、0μm(无图案部分，即：空白)。并且，本实施方式的聚光元件的结构是把二氧化硅刻为同心圆形状，周围的媒质为空气(n＝1)。
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公开(公告)号：CN102105985B
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN200980127511.7
申请日：2009-07-16
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G02B3/0056 , G02B3/0087 , G02B3/08 , H01L27/14621 , H01L27/14625 , H01L27/14627 , H01L27/14629 , H01L27/14632 , H01L27/14685
Abstract: 一种固体摄像元件，在斜向入射时，减低因向波导路内入射的光的角度增加导致的聚光损失及混色增加，在灵敏度提高方面具备有效的结构，其特征为，具备：Si基板(6)；多个单位像素，配置于Si基板(6)上；布线层(4)，形成于多个单位像素上；光波导区域(401)，形成于单位像素中包含的光电变换区域上，并且穿透布线层(4)；以及聚光元件(501)，形成于光波导区域(401)上；聚光元件(501)是具有有效折射率分布的折射率分布型微透镜。
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公开(公告)号：CN100547439C
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：CN200580026622.0
申请日：2005-09-01
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G02B5/1876 , G02B5/1885 , H01L27/14621 , H01L27/14625 , H01L27/14627 , H01L27/14632 , H01L27/14685 , H01L27/14687 , H01L31/02162 , H01L31/02327
Abstract: 本发明实现也对应于焦距较短的光学系统(入射角θ较大的光学系统)并且高灵敏度的固体摄像器件。各像素(尺寸□2.8mm)由梯度折射率透镜(1)、G用滤色片(2)、Al布线(3)、信号传送部(4)、平坦化层(5)、受光元件(Si光敏二极管)(6)、Si基板(7)构成。梯度折射率透镜的同心圆结构由折射率不同的4种材料TiO2(n＝2.53)、SiN(n＝2.53)、SiO2(n＝2.53)、空气(n＝1)构成，相邻的圆形透光膜的外周的半径差为100nm。并且，膜厚为0.4μm。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1993634A
公开(公告)日：2007-07-04
申请号：CN200580026622.0
申请日：2005-09-01
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G02B5/1876 , G02B5/1885 , H01L27/14621 , H01L27/14625 , H01L27/14627 , H01L27/14632 , H01L27/14685 , H01L27/14687 , H01L31/02162 , H01L31/02327
Abstract: 本发明实现也对应于焦距较短的光学系统(入射角θ较大的光学系统)并且高灵敏度的固体摄像器件。各像素(尺寸□2.8mm)由梯度折射率透镜(1)、G用滤色片(2)、Al布线(3)、信号传送部(4)、平坦化层(5)、受光元件(Si光敏二极管)(6)、Si基板(7)构成。梯度折射率透镜的同心圆结构由折射率不同的4种材料TiO2(n＝2.53)、SiN(n＝2.53)、SiO2(n＝2.53)、空气(n＝1)构成，相邻的圆形透光膜的外周的半径差为100nm。并且，膜厚为0.4μm。
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公开(公告)号：CN1881605B
公开(公告)日：2011-01-12
申请号：CN200610093778.7
申请日：2006-06-19
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L27/146
CPC classification number: H01L27/14627 , H01L27/14685
Abstract: 提供一种能够与入射角大的光学系统相对应的高灵敏度的固体摄像装置等。各像素(尺寸：2.25μm)包括：渐变折射率透镜(1)、色彩过滤器(2)(例如，绿色用)、AL配线(3)、信号传送部(4)、平坦化层(5)、受光元件(硅光电二极管)(6)及硅基板(7)。渐变折射率透镜的同心圆结构是由二氧化硅(n＝2)构成的2层同心圆结构，其中的膜厚为：1.2μm(灰色部分)、0.8μm(点状图案部分)、0μm(无图案部分，即：空白)。并且，本实施方式的聚光元件的结构是把二氧化硅刻为同心圆形状，周围的媒质为空气(n＝1)。
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公开(公告)号：CN1938615A
公开(公告)日：2007-03-28
申请号：CN200480042730.2
申请日：2004-12-15
Applicant: 松下电器产业株式会社
Inventor： 岁清公明
CPC classification number: H01L27/14625 , G02B5/1876 , G02B5/1885 , G02B27/4205 , H01L27/14621 , H01L27/14627 , H01L27/14632
Abstract: 为了实现与用于薄型照相机的短焦距光学系统(入射角θ为大角的光学系统)相对应的固体摄像装置等，提供比现存的微透镜更能够对高角度的入射光进行聚光的光学元件等。各单位像素(大小2.8μm)包括：渐变折射率透镜1，用于绿色的色彩过滤器2，AL布线3，信号传送部4，平坦化层5，受光元件(Si光电二极管)6，以及Si基板7。分布折射率透镜为同心带形状，包括高折射率材料33[TiO2(n＝2.53)]和低折射率材料34[空气(n＝1.0)]。而且，在分布折射率透镜中，相邻的被分割区域的宽度35为200nm。并且，膜厚t为0.5μm。
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公开(公告)号：CN102105985A
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN200980127511.7
申请日：2009-07-16
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G02B3/0056 , G02B3/0087 , G02B3/08 , H01L27/14621 , H01L27/14625 , H01L27/14627 , H01L27/14629 , H01L27/14632 , H01L27/14685
Abstract: 一种固体摄像元件，在斜向入射时，减低因向波导路内入射的光的角度增加导致的聚光损失及混色增加，在灵敏度提高方面具备有效的结构，其特征为，具备：Si基板(6)；多个单位像素，配置于Si基板(6)上；布线层(4)，形成于多个单位像素上；光波导区域(401)，形成于单位像素中包含的光电变换区域上，并且穿透布线层(4)；以及聚光元件(501)，形成于光波导区域(401)上；聚光元件(501)是具有有效折射率分布的折射率分布型微透镜。
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公开(公告)号：CN100492064C
公开(公告)日：2009-05-27
申请号：CN200480042730.2
申请日：2004-12-15
Applicant: 松下电器产业株式会社
Inventor： 岁清公明
CPC classification number: H01L27/14625 , G02B5/1876 , G02B5/1885 , G02B27/4205 , H01L27/14621 , H01L27/14627 , H01L27/14632
Abstract: 为了实现与用于薄型照相机的短焦距光学系统(入射角θ为大角的光学系统)相对应的固体摄像装置等，提供比现存的微透镜更能够对高角度的入射光进行聚光的光学元件等。各单位像素(大小2.8μm)包括：渐变折射率透镜1、用于绿色的色彩过滤器2，AL布线3，信号传送部4，平坦化层5，受光元件(Si光电二极管)6，以及Si基板7。分布折射率透镜为同心带形状，包括高折射率材料33[TiO2(n＝2.53)]和低折射率材料34[空气(n＝1.0)]。而且，在分布折射率透镜中，相邻的被分割区域的宽度35为200nm。并且，膜厚t为0.5μm。
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