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发明公开
电介质存储器及其制造方法无效

公开(公告)号：CN1738026A

公开(公告)日：2006-02-22

申请号：CN200510092628.X

申请日：2005-08-19

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 三河巧 , 大国充弘 , 吉田弘

IPC: H01L21/82 , H01L21/8242 , H01L27/02 , H01L27/108

Abstract: 一种电介质存储器，包括：第1下部电极(12)、具有到达第2下部电极(14b)的上面的开口部(13h)的第1绝缘膜(13)、在开口部(13h)的壁部形成的第2下部电极(14b)、在第1下部电极(12)之上及第2下部电极(14b)之上不埋入孔地形成的电容绝缘膜(15)、以及在电容绝缘膜(15)之上形的上部电极(16)。对于开口部(13h)的壁部而言，第2下部电极(14)的壁厚，其下方比开口部的壁部的上方厚。从而提供包括阶差被覆性优异的电容绝缘膜，而且具有能够实现细小化的结构的介质存储器。

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