公开(公告)号：CN102951761A

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：CN201210455979.2

申请日：2012-11-14

Applicant: 杭州格林达化学有限公司

Inventor： 魏任重 ,  徐雅玲 ,  黄源 ,  尹云舰 ,  连杰

IPC: C02F9/10 ,  G03F7/42 ,  C02F1/52 ,  C02F1/66 ,  C02F1/42 ,  C02F1/28

Abstract: 本发明提供了一种光刻胶剥离液废液的回收方法，特别是指将半导体基材上残留的光刻胶除去后的光刻胶剥离液废液的回收方法。本发明首先采用适量的水在酸性条件下分两个步骤沉淀光刻胶主要成分线性酚醛树脂，得到可再次作为光刻胶使用的线性酚醛树脂；然后利用活性炭吸附脱色并除去金属离子；最后经两步式减压蒸馏，除去水分等低沸物质，回收得到纯的光刻胶剥离液。该方法工艺简单，避免了使用昂贵的耐有机溶剂过滤膜或过滤器，有利于工业化大规模回收光刻胶剥离液废液，降低光刻胶剥离液和光刻胶的使用成本。