公开(公告)号：CN102967686A

公开(公告)日：2013-03-13

申请号：CN201210455850.1

申请日：2012-11-14

Applicant: 杭州格林达化学有限公司

Inventor： 陈玉英 ,  徐雅玲 ,  黄源 ,  尹云舰

IPC: G01N31/16 ,  G01N31/22

Abstract: 本发明提供一种在线测定和控制ITO蚀刻液中各酸浓度的方法，通过对ITO蚀刻液供应槽在线取样，样品进入自动滴定仪并溶入有机溶剂，以标定过的碱性有机标准滴定溶液为滴定液，采用动态pH滴定模式进行滴定，滴定结果及相关数据输入电脑主机，根据pH电极信号的变化曲线找到各酸在滴定终点所对应的滴定溶液的消耗体积，进而计算出样品中各种酸的浓度，然后电脑主机向控制阀发出控制信号，从预先设置的酸液调节槽内输送适量的高浓度酸进入供应槽，使蚀刻液浓度达标。本发明检测速度快，准确度和精密度俱佳，能实时反馈各酸浓度，完全可以满足在线检测和控制的要求，为准确控制蚀刻机台的蚀刻速度和蚀刻参数、最终获得高精度的蚀刻图案提供了技术保障。

公开(公告)号：CN102981523A

公开(公告)日：2013-03-20

申请号：CN201210455892.5

申请日：2012-11-14

Applicant: 杭州格林达化学有限公司

Inventor： 陈玉英 ,  徐雅玲 ,  黄源 ,  尹云舰

IPC: G05D21/02

Abstract: 本发明提供一种在线测定和控制铝蚀刻液中各种酸浓度的方法，通过在线取样进入自动滴定仪，利用动态pH滴定模式，通过pH电极信号的变化，找到各酸的滴定终点，然后依据滴定剂的标定结果和消耗量，计算样品中硝酸、磷酸和醋酸的含量，测定结果输入电脑主机，进而控制醋酸、硝酸和磷酸向供应槽的补充量，维持槽内铝蚀刻液中三种酸的浓度在规定范围之内。这种检测方法的相对误差低于6%，相对标准偏差低于3%，且可以随时取样，检测速度快，能及时反馈各酸的在线数据，实现铝蚀刻液中各酸浓度的有效控制，使蚀刻机台的蚀刻效果达到最佳。