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公开(公告)号：CN203433266U
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201320478076.6
申请日：2013-08-06
Applicant: 杭州格林达化学有限公司
IPC: G03F7/26
Abstract: 一种显影液中光刻胶树脂回收再利用装置，包括废液槽、第一过滤装置、溶解槽、第二过滤装置、纳滤装置和浓缩装置，废液槽包括沉淀剂进口和显影液废液进口，废液槽的出口通过连接管与第一过滤装置的进口连接，第一过滤装置的上部出口与溶解槽的第一进口连通，第一过滤装置的下部出口为TMAH废液出口，溶解槽的第二进口为溶剂进口，溶解槽的出口与第二过滤装置的进口连通，第二过滤装置的上部出口为残渣出口，第二过滤装置的下部出口与纳滤装置的入口连通，纳滤装置的第一出口为树脂出口，纳滤装置的第二出口为杂质出口，纳滤装置的第一出口与浓缩装置的入口连通，浓缩装置包括光刻胶树脂出口和溶剂出口。本实用新型降低成本、环保性良好。
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