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公开(公告)号：CN107922114A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201680046974.0
申请日：2016-06-13
Applicant: 村田机械株式会社
IPC: B65G1/00 , H01L21/673
Abstract: 为了提供能够将附着在容器的气体导入口或者净化喷嘴的周围的微粒除去的净化装置，净化装置(4)具备：能够吹出气体(G1)的喷嘴(31)；以及在作为净化对象的容器(F)的底面(Fb)与喷嘴对置的状态下，使气体从喷嘴吹出的净化控制部(34)。
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公开(公告)号：CN115175867B
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202180016504.0
申请日：2021-01-19
Applicant: 村田机械株式会社
Inventor： 椿达雄
IPC: H01L21/677 , B65G1/14 , H01L21/673
Abstract: 保管架(1)具备：主体框(10)；多个架模块(40)，该架模块具有能够装拆地设于主体框(10)的基座板(41)和安装于基座板(41)的供给喷嘴(51)；主配管(61)，该主配管供从供给源供给的吹扫气体流通；以及第一分支部(62)，该第一分支部设于主配管(61)并从主配管(61)分支出流路，在架模块(40)中，设有调整对供给喷嘴(51)供给的吹扫气体的流量的流量控制装置(55)，在第一分支部(62)，经由使流路开闭的开闭阀(64)连接有模块配管(63)，流量控制装置(55)与模块配管(63)连接。
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公开(公告)号：CN107922114B
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201680046974.0
申请日：2016-06-13
Applicant: 村田机械株式会社
IPC: B65G1/00 , H01L21/673
Abstract: 为了提供能够将附着在容器的气体导入口或者净化喷嘴的周围的微粒除去的净化装置，净化装置(4)具备：能够吹出气体(G1)的喷嘴(31)；以及在作为净化对象的容器(F)的底面(Fb)与喷嘴对置的状态下，使气体从喷嘴吹出的净化控制部(34)。
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公开(公告)号：CN114830319A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202180007230.9
申请日：2021-01-21
Applicant: 村田机械株式会社
IPC: H01L21/673 , G01B5/20 , G01B11/26 , G01B21/30 , H01L21/677 , H01L21/68
Abstract: 本发明提供一种平面度测定单元，载置于搁板，用于测定与从搁板上的4个规定部位存在于同一平面上的情况偏离的程度相关的平面度，其中，具备：主体框架；以及4个接地部，分散配置在主体框架上，设置成与搁板上的4个规定部位分别接地。4个接地部包括不位于对角位置的两个第1接地部、以及第1接地部以外的两个第2接地部。将重心位置设置在平面度测定单元中由通过位于对角位置的第1接地部与第2接地部的两条对角线所划分的4个区域中的、包括两个第1接地部的区域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103118962B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201180046057.X
申请日：2011-08-29
Applicant: 村田机械株式会社
IPC: B65G1/00 , B65G49/07 , B66C13/22 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67 , H01L21/67259 , H01L21/6773 , H01L21/67733 , H01L21/67736 , H01L21/68707
Abstract: 在横向移载时也将物品移载到载置台的规定位置。移载系统（100）能够在沿铺设于顶棚的轨道（1）行走的同时输送被输送物（3）的输送车（2）和设置在比轨道更靠下方的载置台（4）之间以横向移载方式来移载被输送物。移载系统具备存储部（101）和控制部（102）。存储部存储（ⅰ）表示进行将由输送车抓持的物品载置到载置台的规定位置上的载置动作时的物品的移载位置的载置位置信息、及（ⅱ）表示进行输送车抓持载置台上的物品的抓持动作时的物品的移载位置的抓持位置信息。控制部控制输送车，以便在进行载置动作的情况下、在载置位置信息的移载位置进行移载，另一方面，在进行抓持动作的情况下、在抓持位置信息的移载位置进行移载。
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公开(公告)号：CN103118962A
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN201180046057.X
申请日：2011-08-29
Applicant: 村田机械株式会社
IPC: B65G1/00 , B65G49/07 , B66C13/22 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67 , H01L21/67259 , H01L21/6773 , H01L21/67733 , H01L21/67736 , H01L21/68707
Abstract: 在横向移载时也将物品移载到载置台的规定位置。移载系统（100）能够在沿铺设于顶棚的轨道（1）行走的同时输送被输送物（3）的输送车（2）和设置在比轨道更靠下方的载置台（4）之间以横向移载方式来移载被输送物。移载系统具备存储部（101）和控制部（102）。存储部存储（ⅰ）表示进行将由输送车抓持的物品载置到载置台的规定位置上的载置动作时的物品的移载位置的载置位置信息、及（ⅱ）表示进行输送车抓持载置台上的物品的抓持动作时的物品的移载位置的抓持位置信息。控制部控制输送车，以便在进行载置动作的情况下、在载置位置信息的移载位置进行移载，另一方面，在进行抓持动作的情况下、在抓持位置信息的移载位置进行移载。
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公开(公告)号：CN112262465B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN201980038913.3
申请日：2019-03-22
Applicant: 村田机械株式会社
IPC: H01L21/673 , B65G1/14
Abstract: 保管架(1)具备主体框架(10)和经由弹性体(9)安装于主体框架(10)的搁板(20)，用于对收纳被收纳物的FOUP进行保管，其中，该保管架(1)具备：供给喷嘴(31)，该供给喷嘴设置于搁板(20)，向FOUP供给气体；和供给管(33)，该供给管(33)具有与供给喷嘴(31)连通的一端(33a)和与主管(50)连通的另一端(33b)，该主管(50)支承于主体框架(10)，并且与向FOUP供给的气体的供给源连接。供给管(33)在从一端(33a)到另一端(33b)之间的至少一部分具备具有挠性的挠性部。
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公开(公告)号：CN109314075B
公开(公告)日：2023-02-21
申请号：CN201780034836.5
申请日：2017-05-08
Applicant: 村田机械株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/673
Abstract: 本发明涉及容器保管装置及容器保管方法。抑制由于从容器的盖泄漏的气体而使周围环境恶化。容器保管装置(1A)具备向所保管的容器(2)内供给清洗气体的清洗装置(24)和配置在容器(2)的盖(2c)附近并吸引盖(2c)周围的环境气体的吸引装置(24)。
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公开(公告)号：CN115175867A
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202180016504.0
申请日：2021-01-19
Applicant: 村田机械株式会社
Inventor： 椿达雄
IPC: B65G1/14 , H01L21/673
Abstract: 保管架(1)具备：主体框(10)；多个架模块(40)，该架模块具有能够装拆地设于主体框(10)的基座板(41)和安装于基座板(41)的供给喷嘴(51)；主配管(61)，该主配管供从供给源供给的吹扫气体流通；以及第一分支部(62)，该第一分支部设于主配管(61)并从主配管(61)分支出流路，在架模块(40)中，设有调整对供给喷嘴(51)供给的吹扫气体的流量的流量控制装置(55)，在第一分支部(62)，经由使流路开闭的开闭阀(64)连接有模块配管(63)，流量控制装置(55)与模块配管(63)连接。
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