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公开(公告)号：CN106415812B
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201580028389.3
申请日：2015-04-22
Applicant: 村田机械株式会社
IPC: H01L21/673
Abstract: 清洗装置(30)为，通过清洗气体对保存被保存物的保存容器(F)的内部进行清洗处理，具备：载放保存容器的多个载放部(31)；向载放于载放部的保存容器供给清洗气体的多个供给管(33)；连接多个供给管并且向多个供给管供给清洗气体的主管(41)；以及对主管中的清洗气体的流量进行调节的MFC(43)。
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公开(公告)号：CN114521184A
公开(公告)日：2022-05-20
申请号：CN202080067250.0
申请日：2020-09-10
Applicant: 村田机械株式会社
Abstract: 本发明提供保管装置。保管装置具备：一对支承部，它们分别沿上下方向延伸，在第一方向分离排列；一对安装部，它们经由具有轴部的固定部件分别安装于一对支承部各自的朝向第一方向的面即侧面；以及载置部，其支承于一对安装部，供物品载置，一对安装部分别具有供轴部插通的孔部，孔部的面积以一对安装部能够沿一对支承部的侧面转动的程度，比轴部的与轴向正交的剖面积大。
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公开(公告)号：CN106415812A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201580028389.3
申请日：2015-04-22
Applicant: 村田机械株式会社
IPC: H01L21/673
CPC classification number: H01L21/67389 , H01L21/673 , H01L21/67373 , H01L21/67386 , H01L21/67393 , H01L21/67766 , H01L21/67769
Abstract: 清洗装置(30)为，通过清洗气体对保存被保存物的保存容器(F)的内部进行清洗处理，具备：载放保存容器的多个载放部(31)；向载放于载放部的保存容器供给清洗气体的多个供给管(33)；连接多个供给管并且向多个供给管供给清洗气体的主管(41)；以及对主管中的清洗气体的流量进行调节的MFC(43)。
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公开(公告)号：CN112262465B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN201980038913.3
申请日：2019-03-22
Applicant: 村田机械株式会社
IPC: H01L21/673 , B65G1/14
Abstract: 保管架(1)具备主体框架(10)和经由弹性体(9)安装于主体框架(10)的搁板(20)，用于对收纳被收纳物的FOUP进行保管，其中，该保管架(1)具备：供给喷嘴(31)，该供给喷嘴设置于搁板(20)，向FOUP供给气体；和供给管(33)，该供给管(33)具有与供给喷嘴(31)连通的一端(33a)和与主管(50)连通的另一端(33b)，该主管(50)支承于主体框架(10)，并且与向FOUP供给的气体的供给源连接。供给管(33)在从一端(33a)到另一端(33b)之间的至少一部分具备具有挠性的挠性部。
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公开(公告)号：CN116097417A
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202180056932.6
申请日：2021-08-13
Applicant: 村田机械株式会社
IPC: H01L21/677
Abstract: 流量测定装置测定向底盖相对于容器主体装拆的容器供给吹扫气体的吹扫装置中的吹扫气体的流量。流量测定装置具备：基部，该基部搭载有流量测定器；被卡合部，该被卡合部设于基部且供底盖卡合；和流路部，该流路部在底盖与被卡合部卡合的状态下使从底盖的注入口注入的吹扫气体向流量测定器流通。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107534004A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201580026636.6
申请日：2015-04-21
Applicant: 村田机械株式会社
IPC: H01L21/673
Abstract: 提供能够抑制清洗气体的消耗并为简单构成的清洗堆料机以及清洗方法。清洗堆料机(1)具备：具备N台第一清洗装置(21)的第一供给单元(20)，第一清洗装置(21)具有支承保存容器(F)的第一支承部(22)、向被第一支承部(22)支承的保存容器(F)供给清洗气体的第一供给管(23)以及调节第一供给管(23)中的清洗气体的流量的第一流量调节部(24)；以及具备M台第二清洗装置(31)的第二供给单元(30)，第二清洗装置(31)具有支承保存容器(F)的第二支承部32以及向被第二支承部(32)支承的保存容器(F)供给清洗气体的第二供给管(34)，当在规定数量的第二支承部(32)支承保存容器(F)的情况下，第二供给单元(30)将清洗气体通过第二供给管(34)供给至保存容器(F)。
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公开(公告)号：CN114521184B
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202080067250.0
申请日：2020-09-10
Applicant: 村田机械株式会社
IPC: H01L21/683 , B65D21/08 , B65D25/02 , B65D25/24 , B65D81/20
Abstract: 本发明提供保管装置。保管装置具备：一对支承部，它们分别沿上下方向延伸，在第一方向分离排列；一对安装部，它们经由具有轴部的固定部件分别安装于一对支承部各自的朝向第一方向的面即侧面；以及载置部，其支承于一对安装部，供物品载置，一对安装部分别具有供轴部插通的孔部，孔部的面积以一对安装部能够沿一对支承部的侧面转动的程度，比轴部的与轴向正交的剖面积大。
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公开(公告)号：CN112385030A
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN201980046014.8
申请日：2019-05-15
Applicant: 村田机械株式会社
IPC: H01L21/673 , B65G1/00
Abstract: 保管架(1)具备第二架模块(40)和悬挂支架(10)，该第二架模块具有载置容器(F)的第二搁板(43)、向容器(F)的内部供给流体的供给喷嘴(51)、对从供给喷嘴(51)供给的流体的流量进行调整的MFC(55)、以及将MFC(55)和与流体的供给源连接的主配管(60)连接的第三配管(56)，该悬挂支架具有从下方支承第二架模块(40)的追加架支承部(23)、以及悬挂支承追加架支承部(23)的一对吊部(11)和追加吊部(21)。悬挂支架(10)沿着一方向以等间隔设置，第二架模块(40)架设于在一方向上相邻的悬挂支架的追加架支承部(23)，在第三配管(56)的端部设置有使得能够进行与主配管(60)之间的连接的配管连接器(56a)。
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公开(公告)号：CN112262465A
公开(公告)日：2021-01-22
申请号：CN201980038913.3
申请日：2019-03-22
Applicant: 村田机械株式会社
IPC: H01L21/673 , B65G1/14
Abstract: 保管架(1)具备主体框架(10)和经由弹性体(9)安装于主体框架(10)的搁板(20)，用于对收纳被收纳物的FOUP进行保管，其中，该保管架(1)具备：供给喷嘴(31)，该供给喷嘴设置于搁板(20)，向FOUP供给气体；和供给管(33)，该供给管(33)具有与供给喷嘴(31)连通的一端(33a)和与主管(50)连通的另一端(33b)，该主管(50)支承于主体框架(10)，并且与向FOUP供给的气体的供给源连接。供给管(33)在从一端(33a)到另一端(33b)之间的至少一部分具备具有挠性的挠性部。
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公开(公告)号：CN107534004B
公开(公告)日：2020-09-25
申请号：CN201580026636.6
申请日：2015-04-21
Applicant: 村田机械株式会社
IPC: H01L21/673
Abstract: 提供能够抑制清洗气体的消耗并为简单构成的清洗堆料机以及清洗方法。清洗堆料机(1)具备：具备N台第一清洗装置(21)的第一供给单元(20)，第一清洗装置(21)具有支承保存容器(F)的第一支承部(22)、向被第一支承部(22)支承的保存容器(F)供给清洗气体的第一供给管(23)以及调节第一供给管(23)中的清洗气体的流量的第一流量调节部(24)；以及具备M台第二清洗装置(31)的第二供给单元(30)，第二清洗装置(31)具有支承保存容器(F)的第二支承部32以及向被第二支承部(32)支承的保存容器(F)供给清洗气体的第二供给管(34)，当在规定数量的第二支承部(32)支承保存容器(F)的情况下，第二供给单元(30)将清洗气体通过第二供给管(34)供给至保存容器(F)。
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