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公开(公告)号:CN109983568B
公开(公告)日:2023-02-28
申请号:CN201780072480.4
申请日:2017-12-08
Applicant: 村田机械株式会社
IPC: H01L21/673
Abstract: 吹扫储料器具有多个包含通过吹扫气体对进行了载置储存容器的内部进行吹扫处理的多个吹扫架的架区域。吹扫储料器具备:针对每个架区域调整吹扫气体向多个吹扫架供给的供给流量的流量调整部、输送储存容器的输送装置、和对由输送装置进行的储存容器的输送进行控制的控制部。控制部在分布有大于或等于一个架区域所含的吹扫架的架数亦即规定架数的空架的情况下,以新形成所含的多个吹扫架全部为空架的空架区域的方式,执行通过输送装置移送储存容器的换架控制。
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公开(公告)号:CN102933472A
公开(公告)日:2013-02-13
申请号:CN201080067251.1
申请日:2010-06-10
Applicant: 村田机械株式会社
Inventor: 德本光哉
IPC: B65G1/00 , H01L21/677
CPC classification number: G06F17/00 , B65G2201/0297 , H01L21/67196 , H01L21/67201 , H01L21/67276 , H01L21/677 , H01L21/6773 , H01L21/67736 , H01L21/67769
Abstract: 一种搬运系统以及搬运系统内的通信方法,设有装卸自由的装置前自动仓库(10),并且不需要伴随装置前自动仓库(10)装卸的第1控制器(20)的布线的改变。将具备与输送车(6)之间移交物品自由的第2装载口(16)和第2控制器(22)的装置前自动仓库(10)装卸自由地设置在具备第1装载口(12)和第1控制器(20)的装置上。并且,设有配置在能够与物品输送车通信的范围内的通信终端和连接在通信终端上的通信装置(30)。通信装置(30)利用开关将第1控制器(20)的连接目的地在上述第2控制器(22)与通信终端(30)之间切换。
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公开(公告)号:CN115427282B
公开(公告)日:2025-05-06
申请号:CN202180029790.4
申请日:2021-03-11
Applicant: 村田机械株式会社
Inventor: 德本光哉
Abstract: 本发明提供一种有轨台车系统。有轨台车系统(1)是具备用于连接具有高低差的层间彼此并且使行驶台车(6)向下方移动的下行轨道(T21)的有轨台车系统(1)。有轨台车系统(1)的下行轨道(T21)配置为螺旋状,并且具有形成当设置于行驶台车(6)的制动器(53)动作时产生能量的第一区间(71)的轨道(4);以及形成消耗在第一区间(71)行驶时产生的能量的第二区间(72)的轨道(4)。
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公开(公告)号:CN109983568A
公开(公告)日:2019-07-05
申请号:CN201780072480.4
申请日:2017-12-08
Applicant: 村田机械株式会社
IPC: H01L21/673
Abstract: 吹扫储料器具有多个包含通过吹扫气体对进行了载置储存容器的内部进行吹扫处理的多个吹扫架的架区域。吹扫储料器具备:针对每个架区域调整吹扫气体向多个吹扫架供给的供给流量的流量调整部、输送储存容器的输送装置、和对由输送装置进行的储存容器的输送进行控制的控制部。控制部在分布有大于或等于一个架区域所含的吹扫架的架数亦即规定架数的空架的情况下,以新形成所含的多个吹扫架全部为空架的空架区域的方式,执行通过输送装置移送储存容器的换架控制。
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公开(公告)号:CN105453247B
公开(公告)日:2017-11-24
申请号:CN201480045357.X
申请日:2014-07-17
Applicant: 村田机械株式会社
IPC: H01L21/673
CPC classification number: H01L21/67393 , G01N33/0036 , G05D7/0617 , H01L21/67017 , H01L21/67389 , H01L21/67769
Abstract: 本发明目的在于,确保作业人员的安全并且将停止吹扫的范围限制在最小限度。将装置的内部空间分割成作业区域和非作业区域,停止作业区域中的向物品的吹扫,并继续进行非作业区域中的向物品的吹扫。测量作业区域内的氧浓度,若作业区域内的氧浓度降低到规定值以下,则停止非作业区域中的向物品的吹扫。
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公开(公告)号:CN102753458A
公开(公告)日:2012-10-24
申请号:CN201080060790.2
申请日:2010-10-08
Applicant: 村田机械株式会社
IPC: B65G1/00 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67733
Abstract: 输送车系统(1)具备输送车(3)、CW传感器(57)及制造控制器(21)。输送车(3)在多个装置间输送装入有基板(50)的搬运器(49)。CW传感器(57)检测搬运器(49)内的基板(50)的状态。制造控制器(21)控制输送车(3)的输送,并且如果从CW传感器(57)输入异常信号,就使输送车(3)中止输送搬运器(49)。
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公开(公告)号:CN115427282A
公开(公告)日:2022-12-02
申请号:CN202180029790.4
申请日:2021-03-11
Applicant: 村田机械株式会社
Inventor: 德本光哉
Abstract: 本发明提供一种有轨台车系统。有轨台车系统(1)是具备用于连接具有高低差的层间彼此并且使行驶台车(6)向下方移动的下行轨道(T21)的有轨台车系统(1)。有轨台车系统(1)的下行轨道(T21)配置为螺旋状,并且具有形成当设置于行驶台车(6)的制动器(53)动作时产生能量的第一区间(71)的轨道(4);以及形成消耗在第一区间(71)行驶时产生的能量的第二区间(72)的轨道(4)。
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公开(公告)号:CN105453247A
公开(公告)日:2016-03-30
申请号:CN201480045357.X
申请日:2014-07-17
Applicant: 村田机械株式会社
IPC: H01L21/673
CPC classification number: H01L21/67393 , G01N33/0036 , G05D7/0617 , H01L21/67017 , H01L21/67389 , H01L21/67769
Abstract: 本发明目的在于,确保作业人员的安全并且将停止吹扫的范围限制在最小限度。将装置的内部空间分割成作业区域和非作业区域,停止作业区域中的向物品的吹扫,并继续进行非作业区域中的向物品的吹扫。测量作业区域内的氧浓度,若作业区域内的氧浓度降低到规定值以下,则停止非作业区域中的向物品的吹扫。
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